Патенты автора Чаплыгин Юрий Александрович (RU)
АВТОЭМИССИОННЫЙ ЭЛЕМЕНТ С КАТОДАМИ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ // 2590897
Изобретение относится к приборам вакуумной и твердотельной электроники, в частности к автоэмиссионным элементам на основе углеродных нанотрубок (УНТ), используемых в качестве катодов: к диодам, к триодам и к устройствам на их основе. Технический результат - повышение тока автоэмиссии и временной стабильности этой величины, уменьшение рабочих напряжений в приборах вакуумной микроэлектроники на основе углеродных нанотрубок и продление их срока службы. Автоэмиссионный элемент с катодами на основе углеродных нанотрубок включает полупроводниковую подложку, на поверхности которой сформирован изолирующий слой, катодный узел, расположенный над изолирующим слоем, состоящий из токоведущего и контактного слоев и углеродных нанотрубок (УНТ), расположенных на поверхности контактного слоя, опорно-фокусирующую систему, состоящую из первого диэлектрического, затворного электропроводящего и второго диэлектрического слоев, расположенную на верхней поверхности катодного узла и содержащую сквозную полость, анодный токоведущий слой, расположенный на внешней поверхности второго диэлектрического слоя опорно-фокусирующей системы, в котором сформированы сквозные технологические отверстия. Углеродные нанотрубки расположены параллельно поверхности полупроводниковой подложки, на поверхность углеродных нанотрубок нанесен слой оксида гафния, снижающий работу выхода электронов с поверхности УНТ и защищающий поверхность эмитирующих УНТ от воздействия внешних факторов, снижения величины контактного сопротивления нанотрубка-подложка при отжиге сформированной структуры автоэмиссионного элемента. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 6 ил.
Использование: для изготовления полевых эмиссионных элементов на основе углеродных нанотрубок. Сущность изобретения заключается в том, что прибор на основе углеродосодержащих холодных катодов, содержит полупроводниковую подложку, на поверхности которой сформирован изолирующий слой, катодный узел, расположенный над изолирующим слоем, состоит из токоведущего слоя катодного узла, каталитического слоя и массива углеродных нанотрубок (УНТ), расположенных на поверхности каталитического слоя перпендикулярно его поверхности, опорно-фокусирующую система, состоящая из первого диэлектрического, затворного электропроводящего и второго диэлектрического слоев, содержит сквозную полость, анодный токоведущий слой, расположенный на внешней поверхности второго диэлектрического слоя опорно-фокусирующей системы, в котором сформированы сквозные технологические отверстия, катодный узел дополнительно содержит слой проводящего материала, который расположен в сквозной полости на боковой поверхности первого диэлектрического слоя опорно-фокусирующей системы, высота углеродных нанотрубок одинакова по всей площади массива, на поверхности массива углеродных нанотрубок расположен слой интеркалированного материала, а токоведущий слой катодного узла и слой проводящего материала катодного узла обладают адгезионными свойствами. Технический результат: обеспечение возможности повышения тока эмиссии и временной стабильности этой величины. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 9 ил.
НИЗКОВОЛЬТНОЕ КМОП ТОКОВОЕ ЗЕРКАЛО // 2544780
Изобретение относится к области радиотехники и электроники, в частности к аналоговым микросхемам различного назначения, и может быть использовано в качестве функционального узла в операционных усилителях, компараторах и других блоках. Технический результат заключается в повышении выходного сопротивления токового зеркала и соответствующей точности передачи по току. Для этого предложено токовое зеркало, которое содержит схемотехнически идентичные входной и выходной каскады, каждый из которых включает два МОП транзистора, соединенные последовательно между первой шиной питания и входом или выходом, соответственно, а также цепь активного регулирования, включающую резистор и дополнительный МОП транзистор соединенные последовательно между точкой последовательного соединения входных (выходных) транзисторов и второй шиной питания. Затворы дополнительных транзисторов подключены к входу и выходу токового зеркала. 3 ил.
Изобретение относится к области формирования выходных сигналов высокочастотных КМОП микросхем и защиты выходов от электростатических разрядов. Техническим результатом является повышение быстродействия формирователя импульсов. Формирователь содержит выходной каскад на основе комплементарных выходных транзисторов и логических элементов 3ИЛИ/НЕ, 3И/НЕ. Устройство защиты содержит два комплементарных ключевых транзистора, два комплементарных управляющих транзистора и два нагрузочных резистора. В рабочем режиме ключевые транзисторы закрыты, а выходные транзисторы включаются поочередно в соответствии с уровнем входного сигнала. В режиме возникновения электростатического разряда оба ключевых транзистора и оба выходных транзистора открыты. Это позволяет уменьшить размеры ключевых транзисторов и паразитную электрическую емкость выходной шины. 1 ил.
Изобретение относится к вычислительной технике. Технический результат заключается в увеличении реактивного импеданса устройства защиты на высоких частотах. Устройство защиты выводов микросхемы от электростатических разрядов, включающее ключевые n-канальный и р-канальный транзисторы, управляющие n-канальный и р-канальный транзисторы, два нагрузочных резистора, входную шину, шину питания и шину земли, причем в него введены первый и второй дополнительные индукторы, причем сток р-канального ключевого транзистора и исток р-канального управляющего транзистора соединены с первым выводом первого индуктора, второй вывод которого соединен с входной шиной, а также сток n-канального ключевого транзистора и исток n-канального управляющего транзистора соединены с первым выводом второго индуктора, второй вывод которого также соединен с входной шиной. 3 ил.
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР // 2515378
Изобретение может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический акселерометр содержит чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, внешнюю рамку с закрепленным на ней маятником при помощи упругих торсионов. Внешняя рамка имеет переменную ширину. В узкой ее части сформированы П-образные петли, обращенные наружу. Площадки крепления к стеклянным обкладкам на внешней рамке расположены строго на продольной и поперечных осях чувствительного элемента. В микромеханическом акселерометре используются круглые стеклянные обкладки. Это упрощает сборку и снижает трудоемкость изделия. Технический результат: увеличение точности с одновременным снижением трудоемкости без изменения массогабаритных параметров. 2 ил.
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических датчиках линейных ускорений
Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах осциляторного типа
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП // 2400708
Изобретение относится к инерциальным приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, а также индикаторах движения объектов
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при изготовлении интегральных акселерометров
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РЕЗОНАНСНЫХ ЧАСТОТ // 2377509
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для контроля качества микромеханических элементов
Изобретение относится к области технологических процессов изготовления микросистемной техники
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЖЕСТКОСТИ УПРУГОГО ПОДВЕСА ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ДАТЧИКА // 2324917
Изобретение относится к измерительной технике
Изобретение относится к измерительной технике
Изобретение относится к вычислительным системам и системам обработки информации
Изобретение относится к области нанометрологии и калибровочным структурам, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение и измерение геометрической формы игл сканирующего зондового микроскопа, в том числе атомно-силовых микроскопов и сканирующих туннельных микроскопов
Изобретение относится к технологии изготовления элементов интегральных схем и позволяет получать планарные молекулярные проводники посредством упорядочивания молекул матрицы под действием электрического поля определенной конфигурации
Изобретение относится к гравиинерциальным микромеханическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, а также в качестве индикаторов движения объектов
МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ ДАТЧИК // 2279737
Изобретение относится к области автоматики и может быть использовано в тахометрах, устройствах неразрушающего контроля, датчиках перемещения, датчиках для измерения постоянного и переменного магнитного поля, электрического тока
