Патенты автора Неволин В.К.
Изобретение относится к технологии изготовления элементов интегральных схем, к способу формирования микропроводников высокой проводимости
Изобретение относится к технологии изготовления элементов интегральных схем и может использоваться для создания проводников высокой проводимости
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в исследовательских и технологических установках для контроля рельефа поверхностей и локального воздействия на них
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НЕОДНОРОДНОСТИ ПЛЕНКИ // 2072587
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для определения неоднородности пленок
СПОСОБ ОЦЕНКИ ГОДНОСТИ ПРОВОДЯЩЕЙ ПЛЕНКИ // 2072586
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для контроля качества проводящих пленок
