Патенты автора Преображенский Валерий Сергеевич (RU)

Изобретение относится к алюмооксидной композиции и способу получения керамического материала для производства подложек для интегральных микросхем СВЧ-диапазона, причем указанная композиция содержит частицы альфа-оксида алюминия в узком диапазоне 0,7-3 мкм со средним размером частиц 1,54 мкм, что позволяет достичь равнокристаллической структуры с высокой плотностью, достаточной прочностью и необходимыми электроизоляционными свойствами, предъявленными к керамическим материалам для подложек интегральных микросхем СВЧ-диапазона. На 100 вес.ч. альфа-оксида алюминия вводят 0,2-0,3 вес.ч. MgO, 43-45 вес.ч. растворителя: смеси нефраса с ацетоном или растворитель марки EXX SOLDSP с ацетоном, 3,5-5,5 вес.ч. бутадиен-нитрильного карбоксилатного каучука и 0,9-1,2 вес.ч. дибутилфталата. Из полученного шликера формируют керамическую плёнку заданной толщины, подсушивают, создают пакет слоёв, уплотняют в вальцах. Из полученного пакета слоёв вырубают заготовки заданного размера, удаляют связующее, обжигают до спекания в условиях вакуума при конечной температуре 1850°С. Обожжённые изделия обрабатывают до высокой степени чистоты поверхности. Использование раствора карбоксилатного каучука в качестве временного технологического связующего обеспечивает точность повторения получаемых характеристик, исключающих появление анизотропии и коробления подложек. Изобретение позволяет расширить диапазон использования порошков глиноземов с содержанием альфа-Аl2О3 от 99,7 мас.% и выше, что значительно влияет на снижение затрат получаемого керамического материала. 2 н.п. ф-лы, 5 ил., 1 табл.

Изобретение относится к огнеупорной промышленности и может быть использовано при изготовлении высокоплотных корундовых огнеупоров специального назначения для ответственных узлов футеровки тепловых агрегатов, работающей в условиях переменной окислительно-восстановительной или восстановительной газовой среды

 


Наверх