Изобретение относится к способам очистки твердых поверхностей от микрочастиц и может быть использовано для удаления микрочастиц с поверхности полупроводниковых пластин, а также в космической оптике, оптике высокого разрешения, фотонике. На загрязненную микрочастицами поверхность наносят слой раствора легколетучего растворителя в воде, направляют на слой пучок света, поглощаемый слоем или поверхностью, и формируют в слое каплю за счет светоиндуцированного центростремительного концентрационно-капиллярного течения. Очистку поверхности производят путем перемещения капли по ней за счет перемещения светового пятна по поверхности, захвата частиц с поверхности в объем капли указанным течением и последующего удаления микропипеткой собранных микрочастиц вместе с объемом капли. Технический результат: простота способа, отсутствие повреждений очищаемой поверхности. 4 ил.