Патенты автора Фюрст Леонид Георгиевич (RU)
Изобретение относится к области нанотехнологии и может быть использовано в автоматизированных транспортных системах передачи и позиционирования образца в вакууме и контролируемой газовой среде. Устройство содержит средство захвата образца и механизм его перемещения, носитель образца в виде кольца, профилированного по внешней окружности. Средство захвата содержит платформу, две пары роликов, попарно расположенных на противоположных краях платформы и выполненных с элементами взаимодействия с носителем образца, и привод перемещения роликов вдоль горизонтальной оси. Механизм перемещения средства захвата содержит U-образную раму, соединенную с приводом перемещения вдоль вертикальной оси, установленным на основании устройства. U-образная рама своими проушинами охватывает платформу средства захвата образца и на них порознь установлены привод поворота средства захвата вокруг горизонтальной оси и привод вращения одного из роликов. Устройство позволяет выполнять независимые функции ориентации и переворота образца рабочей поверхностью вверх или вниз, функцию механизма межоперационной передачи образца из одной камеры кластера в другую без переворота и ориентации образца. 7 з.п. ф-лы, 8 ил.
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) рельефа, линейных размеров, физических характеристик поверхности и распределения этих характеристик в объеме объекта путем срезания тонких слоев объекта с последующим исследованием вновь образованных поверхностей объекта
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа, атомно-силового микроскопа, близкопольного оптического микроскопа и др
