Патенты автора Корж Иван Александрович (RU)
Изобретение относится к области использования материалов в виде многослойных реакционных энергетических фольг с эффектом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС). Цель изобретения - разработка способа электрического инициирования СВС реакции путем пропускания тока через присоединенные к поверхности многослойной реакционной энергетической фольги контакты. Причем инициирование СВС реакции должно осуществляться от слаботочного источника напряжения, например от заряженного конденсатора. Технический результат достигается за счет формирования на поверхности реакционной энергетической фольги фоторезистивной маски как минимум с двумя отверстиями. Отверстия заполняются токопроводящим клеем. К каплям клея приклеиваются электроды, которые служат для подвода тока к поверхности фольги. Электроды могут быть в виде тонких проводов (0,1-0,2 мм), или тонких медных полосок (до 0,1 мм). Токопроводящий клей заполняет отверстие диаметром d и длиной l (толщина фоторезистивной маски), при этом после сушки и полимеризации клея получается встроенный в фоторезист цилиндрический резистор с выводами в виде двух электродов (проводов, медных полосок). 7 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл.
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для формирования конфигурации пленок, напыляемых в вакууме. Устройство для формирования конфигурации пленок, напыляемых в вакууме, включает маску из ферромагнитного материала, расположенную с лицевой стороны подложки, и магниты в виде полос с чередующимися полюсами и с плоской верхней поверхностью, расположенные с противоположной по отношению к упомянутой маске тыльной стороны подложки, корпус с плоской верхней поверхностью и плоским гнездом для подложки, и с выступами на его плоской верхней поверхности. Между маской из ферромагнитного материала и лицевой поверхностью подложки расположена биметаллическая маска из бериллиевой бронзы с нанесенным слоем никеля. В упомянутом корпусе, биметаллической маске и маске из ферромагнитного материала выполнены посадочные отверстия по две штуки с каждой стороны подложки, каждое из которых заходит на 0,4-0,5 диаметра на плоскость подложки. Биметаллическая маска и маска из ферромагнитного материала прижаты к подложке прижимной рамкой из ферромагнитного материала, имеющей отверстия для ее фиксации на выступах на упомянутом корпусе. Обеспечивается увеличение точности получения конфигурации слоев при напылении через маску, а также устранение взаимодействия поля постоянных магнитов, расположенных на тыльной стороне подложки, с магнитным полем магнетронных источников распыления материалов. 6 з.п. ф-лы, 4 ил.
Изобретение относится к области измерения количества тепла - калориметрии горючих материалов, устройствам для определения теплоты реакции, выделяемой при горении материалов, в частности теплоты реакции реакционной энергетической фольги с эффектом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. Предлагается калориметрическая ячейка, состоящая из следующих основных частей: стакана из материала с низкой теплопроводностью (фторопласт, полиэтилен, стекло и т.п.) с изотермической оболочкой; прозрачной крышкой из оргстекла, установленной на магнитной мешалке; нагревателя в виде тонкой спирали из нихрома, подключенной к стабилизированному источнику питания; датчика температуры, помещенного в ячейку; пьедестала для размещения образца СВС фольги внутри ячейки; подпружиненных электродов, закрепленных на крышке ячейки и позволяющих производить кратковременный электрический контакт с поверхностью образца СВС фольги, размещенной в толще воды на пьедестале, на котором также размещена крыльчатка магнитной мешалки. В исходном состоянии подпружиненные электроды не касаются поверхности воды и поверхности СВС фольги. Это нерабочее состояние ячейки. В рабочем состоянии подпружиненные электроды, подключенные к источнику напряжения и тока, касаются поверхности СВС фольги. Также на линии пьедестала размещается решетка из тонкой проволоки, предназначенная для того, чтобы прореагировавшая СВС фольга не попадала на крыльчатку магнитной мешалки и не препятствовала перемешиванию воды. Крышка ячейки из прозрачного материала (оргстекло, просто стекло, полиэтилен и т.п.) позволяет контролировать визуально протекание СВС реакции. Технический результат - создание простой конструкции калориметрической ячейки для измерения теплоты реакции СВС фольги, позволяющей производить измерения с высокой производительностью без использования калориметрической «бомбы» и кислорода для инициирования реакции. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение может быть использовано при получении металлических тонких пленок вакуумным осаждением. Способ получения самоподдерживающихся тонких пленок основан на нанесении на подложку «жертвенного» слоя водорастворимой соли, нанесении на «жертвенный» слой тонкой пленки и растворении «жертвенного» слоя в растворителе. Перед нанесением тонкой пленки торцы подложки частично закрывают экранами, не позволяющими производить нанесение тонкой пленки на «жертвенный» слой, расположенный на торцах подложки. Изобретение обеспечивает получение тонких пленок увеличенных размеров, не менее 100 на 100 мм. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Изобретение относится к области нанотехнологии материалов и может найти применение при изучении свойств реакционных многослойных материалов с эффектом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС), в частности для определения температуры горения таких материалов. Предлагается способ определения температуры горения реакционных многослойных нанопленок, основанный на применении электрических методов. Температуру горения определяют по изменению электрического сопротивления полоски реакционной многослойной нанопленки до и после процесса самораспротраняющегося высокотемпературного синтеза, и температура горения tcвc рассчитывается по формуле tcвc=to+(Rt-Rx)/Rx⋅α, где to - температура до начала СВС, Rx - сопротивление полоски реакционной многослойной нанопленки до начала СВС, Rt - сопротивление полоски реакционной многослойной нанопленки после окончания СВС, α - температурный коэффициент сопротивления реакционной многослойной нанофольги. Технический результат – повышение информативности и экспрессности определения температуры горения реакционных многослойных нанопленок. 1 табл., 1 ил.
Изобретение относится к области нанотехнологии материалов и может найти применение при изучении свойств реакционных многослойных материалов с эффектом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС), в частности для определения скорости распространения фронта горения таких материалов. Задача изобретения - разработка простого способа определения скорости распространения фронта горения, обладающего высокой точностью и низкими затратами на его осуществление (материальными и временными). Предлагается способ определения скорости фронта горения реакционных многослойных нанопленок, основанный на использовании осциллографа, принимающего электрический сигнал от фотодиода при прохождении фронта горения, отличающийся тем, что электрический сигнал, подаваемый на осциллограф, принимается от нагрузочного резистора, подключенного последовательно с полоской реакционной многослойной нанопленки, которая подключена к источнику электрического тока, и по времени изменения напряжения на нагрузочном резисторе определяется расчетным путем скорость горения реакционной многослойной нанопленки по формуле где V - скорость фронта горения, - длина полоски нанофольги, t - время изменения напряжения на нагрузочном резисторе (время горения полоски нанофольги). 3 ил., 1 табл.
Магнетронная распылительная система // 2748443
Изобретение относится к магнетронной распылительной системе и может быть использовано для получения покрытий из металлов, диэлектриков, полупроводников и т.п. в различных отраслях промышленности, в том числе в микроэлектронике. Магнетронная распылительная система состоит из вакуумной камеры, магнетронных источников распыления, размещенных по окружности в вакуумной камере, и карусели в виде барабана с подложками, состоящего из отдельных вертикально стоящих пластин, образующих подложкодержатели. Каждая из пластин, образующих подложкодержатель, выполнена в виде двух пластин, скрепленных в центре, расположенном напротив оси вращения карусели. Края каждой из пластин отогнуты по направлению к магнетронному источнику и составляют между собой угол α, равный 160-170°. Такая конструкция магнетрона позволяет обеспечить равномерность осаждаемого покрытия по толщине, уменьшить расход материала мишени и увеличить число обрабатываемых подложек за счет увеличения линейных размеров пластин, составляющих подложкодержатель. 1 ил.
Изобретение относится к способам крепления гибких металлических подложек к водоохлаждаемому подложкодержателю и может быть использовано для напыления тонких пленок, чувствительных к нагреву. Подложку выполняют гибкой с большим радиусом изгиба, выпуклой в сторону поверхности плоского водоохлаждаемого подложкодержателя и со стрелой прогиба в сторону потока напыляемого материала. Гибкую подложку укладывают на поверхность плоского водоохлаждаемого подложкодержателя и по краям прижимают при помощи съемных боковых планок и плоских пружин в виде дуги. Для еще лучшего отвода тепла от подложки ее поверхность покрывают со стороны водоохлаждаемой поверхности подложкодержателя тонким слоем легкоплавкого сплава с низкой температурой плавления. Тонкий слой легкоплавкого сплава после окончания процесса напыления затвердевает и не загрязняет объем вакуумной камеры и пленку, и подложка может быть использована для напыления пленок материала в случае их отделения от подложки после окончания процесса напыления. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение относится к области радиоэлектроники и измерительной техники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных резисторов и для оперативного контроля температурного коэффициента сопротивления (ТКС) пленок в процессе их изготовления. Техническим результатом является увеличение точности измерения ТКС, снижение времени измерения ТКС и увеличение верхнего предела устанавливаемой температуры. Способ определения ТКС тонких проводящих пленок включает операции четырехзондового измерения поверхностного сопротивления с помощью четырехзондовой головки, подложкодержателя, нагревателя подложкодержателя и приборов регистрации температуры и поверхностного сопротивления, в которых измеряют температуру поверхности пленки в месте расположения зондов по моменту плавления кусочка металла, согласно изобретению температуру поверхности тонкой проводящей пленки определяют визуально по моменту плавления и затвердевания кусочков металла, от которой проводят измерения поверхностного сопротивления выбирают комнатную температуру. При этой начальной температуре поверхность подложкодержателя и поверхность пленки имеют одну и ту же температуру. В качестве металла используют, например, индий, олово, свинец, низкотемпературные сплавы на основе свинца, олова, висмута, кобальта. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.
Способ получения заданной конфигурации пленочных резисторов на основе тантала и его соединений // 2681521
Изобретение относится к области электроники и может быть использовано для получения тонкопленочных резисторов на основе тантала и его соединений. Технический результат - получение заданной конфигурации пленочных резисторов на основе тантала и его соединений без подтравливания по ширине резистора. Достигается тем, что в способе получения заданной конфигурации пленочных резисторов на основе тантала и его соединений на резистивную пленку тантала и его соединений наносят пленку иттрия и формирование конфигурации производят с помощью фотолитографии и избирательного химического травления пленки иттрия и пленки тантала и его соединений, при этом толщина пленки иттрия составляет 0,05-0,1 мкм, а избирательное химическое травление резистивных пленок тантала и его соединений производят в растворах на основе фтористоводородной кислоты, а избирательное химическое травление пленки иттрия производят в растворе ортофосфорной кислоты.
Изобретение относится к области электроники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных чип резистивных высокочастотных (ВЧ) аттенюаторов. Техническим результатом является снижение времени напыления пленок и трудоемкости процесса. Cпособ изготовления включает формирование на лицевой стороне подложки резистивного слоя путем напыления с последующей фотолитографией, подгонку сопротивления резисторов в заданный номинал, формирование защитного слоя, напыление металлизации на тыльную сторону подложки, разделение подложки на полосы, формирование торцевых контактов по тонкопленочной технологии, нанесение припоя, разделение полос на чипы, формирование торцевых контактов по тонкопленочной технологии проводится путем напыления контактного материала (например ванадий-медь-никель) на тыльную сторону чипа и торец чипа, тыльная сторона чипа в месте соединения с торцом чипа располагается к потоку напыляемого материала под углом меньшим 90° (оптимальный угол 60-75°). После чего производится напыление контактного материала на лицевую сторону чипа и торец чипа, лицевая сторона чипа в месте соединения с торцом чипа располагается к потоку напыляемого материала под углом меньшим 90°, после чего на контактные площадки осаждается припой. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.
КВАРЦЕВЫЙ ГЕНЕРАТОР // 2643703
Настоящее изобретение относится к области электровакуумных приборов, и в частности к области приборов кварцевой стабилизации частоты, а именно к кварцевым генераторам, и может быть использовано для стабилизации частоты. Задача изобретения - упрощение конструкции кварцевого генератора. Кварцевый генератор состоит из металлического вакуумированного корпуса, в котором размещены керамическая подложка со смонтированными электронными компонентами, нераспыляемый газопоглотитель и некорпусированный кварцевый пьезоэлемент, причем металлический корпус выполнен в виде основания с герметичными электрическими вводами и металлической крышки, соединенной с основанием, с наружной стороны в основании корпуса генератора выполнено сквозное отверстие в виде конуса и, соответственно, корпус газопоглотителя с запрессованным внутри газопоглотителем выполняется в виде конусообразной детали, причем стенки отверстия покрыты припоем, а боковые поверхности корпуса газопоглотителя - золотым покрытием с подслоем титан-никель, или тонким слоем припоя, а для удержания расплавленного припоя на боковых поверхностях выполнены кольцевые проточки. Конусообразное отверстие в основании корпуса генератора дополнительно со стороны внутреннего объема корпуса генератора прикрывается тонким тепловым экраном с отверстиями. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
ОТСЕЧНОЙ КЛАПАН // 2642910
Изобретение относится к устройствам бытового и промышленного назначения в области запорно-регулирующей аппаратуры, в частности к предохранительным (отсечным) клапанам, используемым для автоматического перекрытия рабочей среды (воды, газа), с внешним датчиком утечки рабочей среды. Задача изобретения - создание конструкции отсечного клапана, требующего минимальные усилия для перекрытия рабочей среды, например воды, без протечек рабочей среды и с использованием автономных малогабаритных источников питания. Поставленная задача достигается следующим образом. Предлагается отсечной клапан, включающий корпус с входным и выходным патрубками, крышку, поворотный шпиндель и затвор из двух керамических дисков с окнами для сообщения с патрубками, один из дисков неподвижен, а второй, подвижный связан с поворотным шпинделем. На поворотном шпинделе закреплена пружина кручения, на конце оси шпинделя закреплены два диска, соединенные между собой в трех точках через 120°, причем верхний диск выполнен из магнитомягкого материала и соприкасается с рабочей плоскостью отпускающего электромагнита. Между двумя керамическими дисками в открытом состоянии клапана предусматривается зазор 0,05-0,1 мм, тем самым при аварийном закрытии клапана трение между дисками минимальное. 4 з.п. ф-лы, 4 ил.
Изобретение относится к области электроники и может быть использовано при изготовлении ЧИП резистивных высокочастотных (ВЧ) аттенюаторов. Техническим результатом является увеличение рассеиваемой мощности и упрощение технологии изготовления резистивного ВЧ-аттенюатора. Резистивный ВЧ-аттенюатор состоит из керамической платы и нанесенных на нее резистивного и электропроводящего слоев, на керамической плате первым выполнен резистивный слой, при этом на нем размещен электропроводящий слой, выполненный в виде узких контактных площадок, третьим является диэлектрический слой с окнами, размещенными в местах узких контактных площадок, четвертым является электропроводящий слой, соединяющийся через окна с узкими контактными площадками второго слоя и выполненный в виде контактных площадок увеличенной площади. 1 ил., 1 табл.
Мощный аттенюатор // 2637995
Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано в качестве эквивалента нагрузки для тестирования мощных радиопередающих устройств. Технический результат заключается в повышении надежности за счет повышения эффективности работы теплоотвода. Мощный аттенюатор с волновым сопротивлением Zo и поглощаемой мощностью Po содержит два одинаковых функционально законченных конструктива на теплопроводящих основаниях со своими входом и выходом, соединенными соответственно с входной и выходной клеммами аттенюатора, и имеющих согласованные нагрузки, каждый из которых имеет волновое сопротивление 2Zo и поглощаемую мощность Po/2, причем все точки соединения резисторов первого конструктива электрически соединены соответственно с аналогичными точками второго конструктива, а между теплопроводящими основаниями отсутствует тепловой контакт. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение относится к акустоэлектронике и может быть использовано для изготовления термостабильных фильтров на поверхностных акустических волнах. Достигаемый технический результат - повышение термостабильности и улучшение механической прочности конструкции. Термостабильный узкополосный фильтр на поверхностных акустических волнах содержит звукопровод - пьезоэлектрическую подложку со сформированными на поверхности встречно-штыревыми преобразователями, на обратной стороне подложки располагается плоская пластина из металла или диэлектрика со сквозными отверстиями по краям пластины, через которые пластина крепится к звукопроводу и одновременно к посадочному месту корпуса резиноподобным клеем с большим КЛТР, крепление пластины в центральной части к звукопроводу выполнено тонким слоем резиноподобного клея с большим КЛТР, между посадочным местом корпуса и пластиной выполнен зазор, превышающий стрелу прогиба посадочного места корпуса при воздействии отрицательных и положительных температур окружающей среды.5 илл.
Изобретение относится к области акустоэлектроники и может быть использовано при разработке и изготовлении узкополосных фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ) с низким температурным коэффициентом частоты (ТКЧ)
Изобретение относится к области тонкопленочной микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении резистивных микросборок, а также мощных резистивных ВЧ аттенюаторов, содержащих низкоомные и высокоомные резисторы
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для получения рельефа в диэлектрических и пьезоэлектрических подложках, содержащих в своем составе двуокись кремния, при изготовлении микромеханических приборов, кварцевых резонаторов и т.д
Изобретение относится к области акустоэлектроники и может быть использовано при разработке и изготовлении узкополосных фильтров на поверхностных акустических волнах (ПАВ) с низким температурным коэффициентом частоты
