Патенты автора Федулов А.В.

УСТАНОВКА ДЛЯ ДИФФУЗИОННОЙ СВАРКИ // 2025242

Изобретение относится к оборудованию для сварки давлением с подогревом, в частности к установкам для диффузионной сварки полупроводников с диэлектриками, и может быть использовано в радиотехнической, электронной и приборостроительной отраслях промышленности

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ИНЕРЦИАЛЬНОГО ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ЕМКОСТНОГО ТИПА // 2207658

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при изготовлении малогабаритных микромеханических датчиков: акселерометров, гироскопов и др

УСТАНОВКА ДЛЯ ДИФФУЗИОННОЙ СВАРКИ // 2184406

Изобретение относится к оборудованию для сварки с подогревом и может быть использовано в радиотехнической, электронной и приборостроительной промышленности

УСТАНОВКА ДЛЯ ДИФФУЗИОННОЙ СВАРКИ // 2111577

Изобретение относится к оборудованию для сварки давлением с подогревом, в частности к установкам для диффузионной сварки полупроводников с диэлектриками, и может быть использовано в радиотехнической, электронной и приборостроительной промышленности