Патенты автора Мягков Игорь Вениаминович (RU)

ИНЕРЦИОННЫЙ ШАГОВЫЙ ДВИГАТЕЛЬ // 2461098

Изобретение относится к устройствам механического перемещения объектов вдоль одной координаты

ИНЕРЦИОННЫЙ ШАГОВЫЙ ДВИГАТЕЛЬ // 2347300

Изобретение относится к устройствам механического перемещения объектов вдоль одной координаты

ЗОНД ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕЙ ЕМКОСТНОЙ МИКРОСКОПИИ // 2289862

Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к системам измерения емкости между зондом и образцом из металла или полупроводника, покрытого тонким слоем диэлектрика