Патенты автора Поляков Вячеслав Викторович (RU)
Группа изобретений относится к сканирующей зондовой микроскопии. Сканирующий зондовый микроскоп включает вибрационный зондовый датчик, вертикальный привод для взаимного перемещения датчика и образца перпендикулярно плоскости сканирования, измерительный преобразователь сигналов от вибрационного зондового датчика, содержащий контроллер, включающий по меньшей мере одну цепь обратной связи, включающую цифровой процессор сигналов, связывающий выход измерительного преобразователя сигналов от вибрационного зондового датчика и вертикальный привод, программируемую вентильную матрицу, запрограммированную для выполнения прямого цифрового синтеза переменного сигнала, блок USB для связи с компьютером, средства обработки сигнала от измерительного преобразователя сигналов от вибрационного зондового датчика с использованием по меньшей мере одного сдвоенного фазового синхронного смесителя и низкочастотных фильтров. Перед блоком USB вставлен блок гальванической развязки. По меньшей мере один сдвоенный аналоговый фазовый синхронный смеситель установлен на плате цифрового сигнального процессора и выполнен с возможностью подачи выходного сигнала вначале на аналоговый фильтр третьего порядка, затем на мультиплексор, затем на цифровой сигнальный процессор для цифровой фильтрации. 2 н. и 6 з.п. ф-лы, 1 ил.
Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии, преимущественно к атомно-силовой микроскопии. Сущность изобретения заключается в том, что в способе формирования изображения в сканирующей зондовой микроскопии, включающем построчное сканирование поверхности образца в прямом и обратном направлениях и регистрацию сигналов Sƒ и Sb, соответствующих сигналу S при сканировании каждой строки в прямом и обратном направлениях, значениям которого соответствуют две матрицы чисел Sƒi,j и Sbi,j, являющиеся матрицами изображений и описывающие попиксельно изображение, как минимум одну строку матрицы изображения Si,j сигнала S формируют последовательностью процедур, включающих сдвиг элементов как минимум одной из матриц сигнала S вдоль направления сканирования, относительно элементов другой матрицы, на величину ΔХ, при котором по меньшей мере на части по меньшей мере одной строки происходит совмещение сигналов Sƒ и Sb, измеренных при движении в прямом и обратном направлениях, и вычисление по меньшей мере одной строки матрицы изображения Si,j по формуле:
где Sƒi,j, Sbi,j - матрицы изображений сигнала S, измеренного соответственно в прямом и обратном направлениях сканирования, F(Sƒi,j, Sbi,j) - функция сигналов Sƒ, Sb, вид которой определяется типом сигнала S. Технический результат изобретения заключается в повышении скорости сканирования и достоверности получаемых данных. 14 з.п. ф-лы, 11 ил.
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для исследования образцов в зондовых режимах. Сканирующий зондовый микроскоп с устройством для функционирования многозондового датчика включает платформу 1, держатель образца 2 с образцом 3, установленные на сканирующем устройстве 4, сопряженном с блоком сближения 5, установленном на платформе 1, систему регистрации 6, состоящую из источника излучения 7 и фотоприемника 8, многозондовый датчик контурного типа 9, содержащий основание 10 с гибкими консолями 15, остриями 16, 17, сопряженный с приводом вращения 21, включающим пьезомодуль 22, соединенным с корпусом 31, а также блок управления 30. Привод вращения 21 соединен с платформой 1 с возможностью размыкания с ней и ориентированной установки на нее. Технический результат заключается в упрощении замены многозондовых датчиков контурного типа и образцов. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.
Способ детектирования ближнепольного оптического отклика для сканирующего зондового микроскопа // 2695027
Изобретение относится к оптическим методам высокого пространственного разрешения на основе методов зондовой микроскопии. Сущность изобретения заключается в том, что в способе детектирования ближнепольного оптического отклика для сканирующего зондового микроскопа, включающем сближение осциллирующего на частоте Ω зондового датчика с образцом, фокусирование на острие зондового датчика оптического излучения с длиной волны λ в диапазоне от 0.4 до 500 мкм источника излучения посредством фокусирующего элемента, измерение ближнепольного оптического отклика первым синхронным детектором посредством детектирования сигнала оптического детектора на высшей гармонике осцилляций зондового датчика nΩ, где n - порядок высшей гармоники, с использованием схемы интерферометра Майкельсона, в которой модуль подвижки устанавливает зеркало опорного плеча в заданные положения, используя систему обратной связи, изменяют положение зеркала опорного плеча посредством модуля подвижки таким образом, чтобы разница фаз ближнепольного оптического отклика и излучения, отраженного от зеркала опорного плеча, поддерживалась постоянной. Технический результат заключается в снижении времени измерения, увеличении быстродействия, уменьшении шумов при измерении и снижении погрешности измерений ближнепольного отклика образца, а также в расширении функциональных возможностей устройства. 7 з.п. ф-лы, 4 ил.
УСТРОЙСТВО ПОДВИЖКИ // 2664783
Устройство подвижки относится к точной механике и может быть использовано для перемещения образцов по двум или трем координатам, например, в зондовой микроскопии. Сущность изобретения заключается в том, что в устройстве подвижки каретка 10 упруго сопряжена с переходным элементом 9 по координате Z, перпендикулярной плоскости координат X, Y. Технический результат изобретения заключается в повышении точностных характеристик устройства и расширении его функциональных возможностей. 9 з.п. ф-лы, 9 ил.
ЗОНД ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕЙ ЕМКОСТНОЙ МИКРОСКОПИИ // 2289862
Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к системам измерения емкости между зондом и образцом из металла или полупроводника, покрытого тонким слоем диэлектрика
