Патенты автора Кушнарев Константин Геннадьевич (RU)

Микроскоп может быть использован при юстировке оптических систем, а также для контроля погрешностей центрирования линз. Микроскоп содержит два измерительных канала. Первый канал содержит размещенные по ходу луча источник излучения с длиной волны λ1, первый коллимирующий объектив, первый светоделитель, в отраженных лучах которого расположены первый спектроделитель и фокусирующий объектив, в предметной плоскости которого расположена контролируемая поверхность. В преломленных лучах первого светоделителя в обратном ходе от контролируемой поверхности расположен первый объектив и первый многоэлементный приемник излучения. Второй канал состоит из источника излучения с длиной волны λ2 и размещенных по ходу луча второго коллимирующего объектива, второго спектроделителя, в отраженных лучах которого расположен второй светоделитель, а в преломленных лучах в обратном ходе от контролируемой поверхности расположен второй объектив и второй многоэлементный приемник излучения. В отраженных лучах второго светоделителя расположен первый спектроделитель. Технический результат - возможность высокоточных угловых и линейных измерений на одном приборе и минимизация габаритов. 22 з.п. ф-лы, 9 ил.

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к способам контроля при сборке и юстировке высокоразрешающих оптических систем, например проекционных объективов для фотолитографии или объективов для дистанционного зондирования, которые формируют изображение на бесконечности или изображение бесконечно удаленного предмета на конечном расстоянии

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к объективам, и может быть использовано в различных оптических системах, например в фото и видеокамерах

 


Наверх