Патенты автора Морозов Олег Валентинович (RU)

СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИ ИЗОЛИРОВАННЫХ ОБЛАСТЕЙ КРЕМНИЯ В ОБЪЕМЕ КРЕМНИЕВОЙ ПЛАСТИНЫ // 2403647

Изобретение относится к приборам микро- электромеханических систем (МЭМС), в частности к их изготовлению на стандартных пластинах кремния

СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ СУБМИКРОННОЙ И НАНОМЕТРОВОЙ СТРУКТУРЫ // 2300158

Изобретение относится к области микроэлектроники, микро- и нанотехнологии

ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ И ОСАЖДЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ // 2293796

Изобретение относится к области технологии микроэлектроники, микронанотехнологии, а именно к конструкции плазмохимического реактора, в котором производятся плазмохимические процессы травления и осаждения различных материалов