Патенты автора Лапенко Вадим Николаевич (RU)

УСТРОЙСТВО ИЗМЕРЕНИЯ РЕЗОНАНСНЫХ ЧАСТОТ И ДОБРОТНОСТИ ПОДВИЖНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ // 2509292

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для контроля качества микромеханических элементов. Устройство измерения резонансных частот и добротности подвижных элементов микромеханических устройств включает в себя генератор, регулятор амплитуды, усилитель мощности, вибростенд, на подвижной части которого закрепляется исследуемый МЭМС, источник излучения. В устройство добавлены позиционно-чувствительный фотоприемник и узлы обработки сигналов с позиционно-чувствительного элемента и взят точечный источник излучения. Технический результат - повышение точности измерения резонансных частот и определения добротности МЭМС элементов, уменьшение времени измерения. 1 ил.

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ АМПЛИТУДНО-ЧАСТОТНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОДВИЖНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ // 2488785

Изобретение относится к микромеханике и предназначено для измерения амплитудно-частотных характеристик подвижных элементов микромеханических устройств

МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП // 2400708

Изобретение относится к инерциальным приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, а также индикаторах движения объектов

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НЕЛИНЕЙНОСТИ ВЫХОДНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ АКСЕЛЕРОМЕТРА // 2398242

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения нелинейности выходной характеристики акселерометров

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РЕЗОНАНСНЫХ ЧАСТОТ // 2377509

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для контроля качества микромеханических элементов

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ АМПЛИТУДНО-ЧАСТОТНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОДВИЖНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ // 2377508

Изобретение относится к микромеханике и предназначено для измерения частотных характеристик подвижных элементов микромеханических устройств

СПОСОБ КОМПЕНСАЦИИ РАСТРАВА ВНЕШНИХ УГЛОВ ФИГУР ТРАВЛЕНИЯ НА КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИНАХ С ОРИЕНТАЦИЕЙ ПОВЕРХНОСТИ (100) // 2331137

Изобретение относится к области технологических процессов изготовления микросистемной техники

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ ЗАЗОРА В МИКРОМЕХАНИЧЕСКОМ ДАТЧИКЕ // 2324894

Изобретение относится к измерительной технике

ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ДАТЧИКА // 2296390

Изобретение относится к гравиинерциальным микромеханическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, а также в качестве индикаторов движения объектов

ИНТЕГРИРУЮЩИЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ВИБРАЦИОННЫЙ ГИРОСКОП // 2296300

Изобретение относится к гироскопическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, в частности высокодинамичных быстровращающихся объектов, а также может использоваться в качестве индикаторов углового движения