Патенты автора Калугин Виктор Владимирович (RU)
Данное изобретение относится к способам изготовления чувствительных элементов МЭМС-датчиков, в частности к способам изготовления, сочетающим объемное травление КНИ-структуры с микромеханической обработкой. Способ изготовления чувствительных элементов МЭМС-датчиков на КНИ-структуре включает нанесение защитных покрытий на лицевую сторону пластины, фотолитографию по защитному слою с лицевой стороны, глубокое высокопрецизионное травление кремния с лицевой стороны до изолирующего слоя диэлектрика с заданным профилем и шероховатостью, удаление остатков маскирующего покрытия с лицевой стороны, при этом перед травлением изолирующего слоя диэлектрика производится операция скрайбирования до изолирующего слоя диэлектрика с обратной стороны КНИ-структуры. Изобретение позволяет сократить и упростить технологический процесс изготовления чувствительных элементов МЭМС-датчиков на КНИ-структуре за счет уменьшения количества технологических операций. 4 ил.
ТВЕРДОТЕЛЬНЫЙ ДАТЧИК ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ // 2692122
Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений. Устройство содержит основание, инерционную массу, упругие элементы. Сформированы две группы раздельных электрически неподвижных емкостных гребенчатых преобразователей. Гребенки подвижных емкостных гребенчатых преобразователей и неподвижных емкостных гребенчатых преобразователей сформированы со смещением относительно друг друга. Упругие элементы соединены одной стороной с инерционной массой, другой стороной соединены с площадками крепления к основанию. Площадки крепления к основанию расположены симметрично в центре симметрии инерционной массы вдоль продольной ее оси и симметрично относительно поперечной ее оси. Технический результат заключается в увеличении точности измерения линейных ускорений. 2 ил.
Изобретение относится к способу получения тонких аморфных пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников с эффектом фазовой памяти и может быть использовано в качестве рабочего слоя в устройстве энергонезависимой фазовой памяти для электронной техники. Используют модифицированный висмутом халькогенидный полупроводниковый материал тройного состава Ge2Sb2Te5. Упомянутый материал подвергают механической активации. Осуществляют неравновесное высокочастотное ионно-плазменное распыление материала в атмосфере рабочего газа смеси газа аргона и водорода при соотношении 90:10. Осаждение осуществляют на диэлектрический слой в условиях среднего вакуума при давлении в камере от 0,5 до 1,0 Па и высокочастотном напряжении поля амплитудой от 400 до 470 В. Технический результат заключается в повышении информационного быстродействия, уменьшении потребляемой мощности.1 пр.
Изобретение относится к машиностроению. Устройство для подачи жидкой смазки к узлам зубчатых передач содержит масляный картер, выполненный в корпусе передачи, частично погруженное в него черпаковое колесо, смонтированное на одном из валов передачи, черпаки, закрепленные на его торце и равномерно размещенные по диаметру колеса, а также накопитель для приема масла и систему подвода смазки к трущимся узлам. Каждый черпак выполнен в виде замкнутой емкости, снабженной двумя внутренними поперечными перегородками, размещенными в центральной части ее донной поверхности и образующими сообщающиеся полости. Между перегородками выполнено сливное отверстие, снабженное выпускной трубкой, оппозитно ему в верхней части емкости выполнено отверстие для забора масла из картера. Накопитель для приема масла выполнен в виде желоба с центральной поперечной перегородкой, закрепленного на корпусе параллельно плоскости колеса с возможностью размещения сливного отверстия черпака, находящегося в верхнем положении на колесе над желобом. Система подвода смазки к трущимся поверхностям выполнена в виде распределительных трубок, вмонтированных в днище желоба. В результате обеспечивается смазка нескольких зубчатых зацеплений реверсивного тихоходного черпакового колеса при одновременном исключении инерционных нагрузок. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.
Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах вибрационного типа
Изобретение относится к гироскопическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения в качестве индикаторов угловой скорости
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ДАТЧИК ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ // 2379694
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при создании микромеханических акселерометров и гироскопов
Изобретение относится к области технологических процессов изготовления микросистемной техники
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЖЕСТКОСТИ УПРУГОГО ПОДВЕСА ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ДАТЧИКА // 2324917
Изобретение относится к измерительной технике
Изобретение относится к измерительной технике
Изобретение относится к гравиинерциальным микромеханическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, а также в качестве индикаторов движения объектов
Изобретение относится к гироскопическим приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, в частности высокодинамичных быстровращающихся объектов, а также может использоваться в качестве индикаторов углового движения
