Патенты автора Голубок Александр Олегович (RU)
Изобретение относится к электронно-лучевой технологии и может быть использовано в оптике, фотонике, интегральной оптике, наноплазмонике и электронике. Способ получения металлических пленок заданной формы заключается в том, что на подложку с высоким электрическим сопротивлением предварительно наносят пленку металла толщиной 50-100 нм, облучают сканирующим электронным лучом с энергией электронов 3-10 кэВ, дозой 20-100 мКл/см2 и проводят химическое травление металлической пленки до ее исчезновения на участках подложки, не облученных электронами. Достоинством способа является то, что металлические пленки заданной формы могут быть изготовлены на любых диэлектрических или полупроводниковых подложках или пленках с высоким электрическим сопротивлением, а также на химически стойких полимерах. 5 ил.
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП // 2366008
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к сканирующим зондовым микроскопам атомарного разрешения, предназначенным для обучения неподготовленных пользователей
Изобретение относится к устройствам для получения острий на металлических и кварцевых зондах и может быть использовано для первичного изготовления зондов сканирующих зондовых микроскопов, а также для их восстановления
Изобретение относится к нанотехнологии, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим получение информации о топологии и других свойствах поверхности объекта
ПОЗИЦИОНЕР ТРЕХКООРДИНАТНЫЙ // 2297078
Изобретение относится к пьезоэлектрическим устройствам преобразования электрического напряжения в механическое перемещение и может быть использовано в сканирующей зондовой микроскопии
ИНЕРЦИОННЫЙ ДВИГАТЕЛЬ // 2297072
Изобретение относится к устройствам механического перемещения объекта вдоль одной координаты
