Патенты автора Лукьянов Андрей Юрьевич (RU)
Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается способа изготовления волоконно-оптического датчика температуры на базе кремниевого оптического резонатора Фабри – Перо. Способ включает создание маски на верхней стороне полированной кремниевой подложки, закрепляемой на удерживающем основании нижней стороной, травление кремниевой подложки на всю глубину по маске с получением кремниевых оптических резонаторов Фабри - Перо нужной формы, закрепленных на удерживающем основании, отделение каждого оптического резонатора Фабри - Перо от удерживающего основания и его соединение с оптическим волокном. В качестве удерживающего основания используют нанесенный вакуумным осаждением на нижнюю сторону кремниевой подложки слой алюминия. Технический результат заключается в упрощении способа и сокращении времени изготовления резонаторов. 2 з.п. ф-лы, 5 ил.
Изобретение относится к измерительной технике и, более конкретно, к интерференционным датчикам температуры
ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ОПТИЧЕСКОЙ ТОЛЩИНЫ ПРОЗРАЧНОГО СЛОЯ ИЛИ ЗАЗОРА // 2303237
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения оптической толщины слоев прозрачных материалов и зазоров между плоскопараллельными поверхностями элементов, один из которых должен быть прозрачным
