Изобретение относится к микро- и нанотехнологии и может быть использовано при нанесении и исследовании тонкопленочных структур, в особенности в производстве и контроле полупроводниковых микросхем методом сухого травления
Изобретение относится к оптическому приборостроению и касается конструкции цифрового формирователя панорамного изображения состыкованием снимков его участков