Патенты автора Сазанов Александр Петрович (RU)

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА ОСНОВЕ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ // 2392693

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ИНТЕГРАЛЬНОЙ МИКРОСХЕМЫ // 2392687

Изобретение относится к микро- и нанотехнологии и может быть использовано для неразрушающего исследования топологии интегральных микросхем

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА СУХОГО ТРАВЛЕНИЯ СТРУКТУРООБРАЗУЮЩЕГО СЛОЯ МИКРОСХЕМЫ // 2372690

Изобретение относится к микро- и нанотехнологии и может быть использовано при нанесении и исследовании тонкопленочных структур, в особенности в производстве и контроле полупроводниковых микросхем методом сухого травления

ФОРМИРОВАТЕЛЬ ИЗОБРАЖЕНИЯ // 2304807

Изобретение относится к оптическому приборостроению и касается конструкции цифрового формирователя панорамного изображения состыкованием снимков его участков