FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора ЧЖОУ Либо (JP)
УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОЙ ОБРАБОТКИ
// 2315391
УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ПРОСТРАНСТВЕННЫМ ПОЛОЖЕНИЕМ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОЙ МЕХАНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ
// 2308071
Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано для прецизионной механической обработки многослойных кремниевых пластин