Патенты автора Рыбачек Елена Николаевна (RU)
Изобретение относится к технологии изготовления кремниевых микро- и наноэлектронных устройств
Изобретение относится к микроэлектронике и может найти применение при создании радиационно стойких элементов КМОП-схем на КНИ подложке
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ САМОСОВМЕЩЕННОГО ПЛАНАРНОГО ДВУХЗАТВОРНОГО МОП-ТРАНЗИСТОРА НА КНИ ПОДЛОЖКЕ // 2312422
Изобретение относится к технологии производства интегральных схем на подложках типа - кремний на изоляторе (КНИ) и может быть использовано для создания транзисторых структур с предельно минимальными размерами для УБИС
