Патенты автора Шкурко Алексей Петрович (RU)

Изобретение относится к технологии получения объемных монокристаллов и может быть использовано, преимущественно, в оптоэлектронике при изготовлении подложек для различных оптоэлектронных устройств, в том числе светодиодов, излучающих свет в ультрафиолетовом диапазоне

Изобретение относится к технике, используемой для нагревания полупроводниковой подложки при выращивании тонких эпитаксильных пленок методом молекулярно-пучковой эпитаксии

Изобретение относится к тиглям для испарения алюминия в процессе молекулярно-пучковой эпитаксии

Изобретение относится к гетероструктурам полупроводниковых приборов, главным образом полевых транзисторов

Изобретение относится к технологии выращивания нитридных полупроводниковых гетероструктур методом молекулярно-пучковой эпитаксии (МПЭ) и может быть использовано при изготовлении различных оптических и электронных приборов и устройств

 


Наверх