Патенты автора Работкин Сергей Викторович (RU)
Изобретение относится к области ионно-плазменной модификации поверхности материалов и представляет собой способ магнетронного напыления металлических или композитных (нитридных, оксидных) покрытий на движущуюся металлическую проволоку в обращенной цилиндрической магнетронной распылительной системе (МРС). Осуществляют предварительную плазменную очистку проволоки, распыление материала катода и осаждение его на подготовленную поверхность проволоки в газовой среде аргона. Предварительную плазменную очистку, распыление и осаждение покрытия проводят с использованием одного технологического источника в виде МРС при подаче на малогабаритный катод МРС одного из видов электропитания - асимметричного биполярного или униполярного импульсного с частотой следования импульсов до 100 кГц. Размер малогабаритного катода удовлетворяет условию: отношение диаметра катода к диаметру проволоки составляет 30-300. В частном случае осуществления изобретения напыление оксидных пленок проводят в упомянутой МРС в газовой среде, дополнительно содержащей кислород. Напыление нитридных пленок проводят в упомянутой МРС в газовой среде, дополнительно содержащей азот. Для напыления многослойных пленок дополнительно используют последовательно несколько упомянутых МРС с катодами из соответствующих материалов. Обеспечивается получение высокоадгезионных пленок с плотной структурой при малых безвозвратных потерях материала катода. 3 з.п. ф-лы, 5 ил., 2 пр.
Изобретение относится к области медицины, а именно к созданию тромборезистентных медицинских изделий, и раскрывает способ получения тромборезистентных изделий медицинского назначения, выполненных из титана и сплавов на его основе. Согласно изобретению, изделия подвергаются обработке импульсным низкоэнергетическим сильноточным широкоапертурным электронным пучком прямой полярности, изделие находится под потенциалом катода. После этого осуществляется нанесение пленки a-C:H:SiOx с предварительной очисткой поверхности изделий ионным потоком в аргоновой плазме, обеспечивающей удаление оксидных соединений с поверхности и нагрев поверхности до температуры 170±20°С. Нанесение a-C:H:SiOx пленки осуществляется в смеси аргона и полифенилметилсилоксана при давлении 0,1 Па. Способ позволяет снижать количество адгезированных тромбоцитов на поверхности изделий медицинского назначения, а также позволяет улучшать медико-биологических свойств изделий, проявляющееся в отсутствии цитотоксичности по отношению к клеткам крови. Нанесенная a-C:H:SiOx пленка также обеспечивает придание изделиям повышенной износостойкости, вследствие высокой твердости и низкого коэффициента трения. Способ может применяться в медицинской промышленности. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.
Изобретение относится к области получения тонкопленочных покрытий, в частности к вакуумному нанесению прозрачных проводящих покрытий методом магнетронного распыления
Изобретение относится к области нанесения покрытий, в частности к малогабаритному магнетронному распылительному устройству обращенного типа, и может найти использование для нанесения тонких пленок металлов и их соединений в вакууме на тонкие проволоки и волокна
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА // 2316613
Изобретение относится к области получения тонкопленочных покрытий, в частности к вакуумному нанесению прозрачных низкоэмиссионных покрытий методом реактивного магнетронного распыления
