Патенты автора Деулин Евгений Алексеевич (RU)

Изобретение относится к областям вакуумного и электронного приборостроения, ядерной технике и другим областям, требующим высокой чистоты от поверхностей, работающих в условиях контролируемой внешней среды. Датчик чистоты поверхности пластин содержит исследуемую пластину, установленную с возможностью движения поверх неподвижной базовой пластины, и измерительный блок. При этом датчик дополнительно содержит прижимную неподвижную полированную пластину, расположенную поверх исследуемой полированной пластины, стойку, на которой закреплены подвижная и неподвижные пластины, выполненную также полированной. Также датчик содержит упругие пластины, одна из которых соединена с прижимной пластиной и обеспечивает силу прижатия, а вторая через соединительный элемент - с исследуемой пластиной и обеспечивает силу страгирования, тензодатчики, установленные на упругих пластинах, пьезобиморфрые приводы, соединяющие тензодатчики с базой. Причем измерительный блок выполнен в виде измерителей силы прижатия и силы страгирования. При этом пластины, служащие для создания контактных зон (подвижная и неподвижные) могут быть выполнены из монокристаллического или плавленого кварца или пластин монокристаллического кремния, а упругие пластины выполнены из бериллиевой бронзы или пружинящей стали, тензодатчик - в виде тензорезистора или тензочувствительного пьезорезонатора из монокристалла кварца AT среза. Техническим результатом является создание датчиков, измеряющих чистоту поверхностей приборов и механизмов, работающих в широком диапазоне давлений (105-10-10 Па) и в условиях изменения влажности рабочей атмосферы в диапазоне 0,1-0,95 RH, и удобных для использования в вакуумной технике, электронике, точном приборостроении, машиностроении, химической, нефтегазовой и других отраслях промышленности. 4 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может найти применение в вакуумном и электронном приборостроении, ядерной технике и других областях, требующих высокой чистоты поверхностей, работающих в условиях контролируемой внешней среды, в частности очень жестких требований к поверхностям катодов для приборов ночного видения, к стенкам вакуумных камер и приборов в установках термоядерного синтеза, поверхностям приборов для измерения вакуума, и может быть использовано при давлениях в диапазоне 105-10-10 Па, при влажности рабочей атмосферы в диапазоне 0.1-0,95 RH и температурах от -40 до +150°С. Устройство контроля чистоты поверхности объектов содержит расположенные последовательно полированные неподвижную прижимную пластину, подвижную пластину с исследуемой поверхностью, неподвижную базовую пластину. Также устройство содержит стойку, на которой закреплена неподвижная базовая пластина и упругие пластины, одна из которых соединена с прижимной пластиной и обеспечивает силу прижатия, а вторая, через соединительный элемент, прикреплена к исследуемой пластине и обеспечивает силу страгивания, тензодатчик, установленный и закрепленный на второй упругой пластине. Кроме того, устройство содержит пьезоприводы, связывающие упругие пластины с базой, и измеритель силы страгивания, соединенный с тензодатчиком. При этом в устройство введены дополнительно блок измерения давления, блок измерения давления насыщающих паров, блок измерения температуры, блок измерения влажности, блок задания режима, спецвычислитель. При этом на поверхности пластин нанесены тонкие полированные пленки, имеющие энергию Еа адсорбции, идентичную исследуемой поверхности, выходы блока измерения давления, блока измерения давления насыщающих паров, блока измерения температуры и блока измерения влажности соединены с входами блока задания режима, а выходы измерителя силы страгивания и блока задания режима подключены к входам спецвычислителя. Техническим результатом является повышение достоверности результатов измерений для объектов, имеющих разный химический состав поверхностей и соответственно разные энергии адсорбции Еа, что расширяет их область применения. 4 ил.

Изобретение относится к области создания экологически чистого топлива на базе возобновляемых ресурсов органического растительного происхождения

Изобретение относится к области диагностики линейной части газотранспортных систем и может быть использовано при оценке остаточного ресурса металла магистрального трубопровода

Изобретение относится к строительству трубопроводного транспорта и используется при очистке и нанесении защитных покрытий на внутреннюю поверхность труб

Изобретение относится к области вакуумной техники и технологий, связанных с использованием вакуума как технологической среды при очистке поверхности труб и нанесении на поверхность труб магистральных трубопроводов защитных покрытий

Изобретение относится к области вакуумной техники и технологий, связанных с использованием вакуума как технологической среды при очистке поверхности труб и нанесении на поверхность труб магистральных трубопроводов защитных покрытий

 


Наверх