Патенты автора Орлов Евгений Юрьевич (RU)
Изобретение относится к области технологии производства силовых полупроводниковых приборов и касается способа входного контроля монокристаллических кремниевых пластин. Способ включает в себя облучение пластин инфракрасным излучением, определение коэффициента пропускания, установление корреляционной зависимости между коэффициентом пропускания и количеством годных пластин и оценку пригодности пластин по этой характеристике. Для отсечения энергии источника инфракрасного излучения в полосе возбуждения нормальных колебаний кристаллической решетки кремния и в области ионизации примесей в нем между источником инфракрасного излучения и кремниевой пластиной устанавливают корригирующие светофильтры, а измерение коэффициента пропускания производят в полосе прозрачности шлифованных кремниевых пластин в диапазоне длин волн 5,5-30,0 мкм. Технический результат заключается в обеспечении возможности быстрого и неразрушающего контроля качества шлифованных монокристаллических кремниевых пластин, используемых при производстве силовых полупроводниковых приборов. 1 табл.
Изобретение относится к технике измерения расхода газов, жидкостей и газожидких смесей. Измеритель расхода содержит струйный автогенератор, корпус в виде участка магистрального трубопровода, сужающее устройство и кожух (обойму). При этом струйный автогенератор выполнен изогнутым по цилиндрической поверхности корпуса с осью симметрии, параллельной его продольной оси. Технический результат - уменьшение габаритных размеров измерителя расхода и упрощение технологии его изготовления. 6 ил.
Изобретение относится к термометрии и может быть использовано для измерения высоких температур при длительных технологических циклах
Изобретение относится к технике измерения влажности газов
Изобретение относится к технике измерения расхода газов, жидкостей и их смесей
Изобретение относится к силоизмерительной технике и может быть использовано для измерения динамических сил