Патенты автора Кононенко Олег Викторович (RU)
Способ получения пленки графена на подложке // 2614289
Изобретение относится к химии, оптоэлектронике и нанотехнологии и может быть использовано при изготовлении прозрачных электродов и приборов наноэлектроники. В кварцевый реактор помещают подложку - Х-срез пьезоэлектрического кристалла, например, La3Ga5,5Ta0,5O14, плоскости (110) которого параллельны поверхности кристалла. Реактор вакуумируют до 10-3-10-8 Торр и нагревают до 900-1450 °С. Затем в реактор напускают углеродсодержащий газ, например ацетилен, метан или этилен, до 10-10-1 Торр. Через 15-100 мин после напуска углеродсодержащего газа реактор откачивают до 3·10-6 Торр с одновременным охлаждением до комнатной температуры. Изобретение позволяет упростить процесс и снизить температуру получения однородных качественных пленок графена. 4 з.п. ф-лы, 2 ил., 3 пр.
Изобретение относится к области химии и может быть использовано при изготовлении приборов наноэлектроники, оптоэлектроники, сенсоров, фотовольтаики, а также для хранения энергии. На изолирующую подложку осаждают пленку алюминия толщиной 1-100 нм, напыляют на неё пленку переходного металла, например, Fe, Co или Ni, толщиной 0,1-10 нм, отжигают на воздухе при температуре 200-950°С в течение 0,1-10 мин, нагревают до температуры 700-1000°С в реакторе, откачанном до давления 10-4-10-10 Торр. Затем производят последовательно напуск углеродсодержащего газа до давления 1-10-4 Торр и откачивание реактора через 1-30 секунд с одновременным охлаждением его до комнатной температуры со скоростью 1-100°С/мин. Изобретение позволяет получать пленки гибрида графена и углеродных нанотрубок заданной конфигурации в заранее определенных местах простым и технологичным способом. 4 з.п. ф-лы, 5 ил., 5 пр.
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГРАФЕНОВОЙ ПЛЕНКИ // 2500616
Изобретение может быть использовано при изготовлении прозрачных электродов и приборов наноэлектроники. Графеновую пленку получают осаждением в вакууме углерода из углеродсодержащего газа на подложку, покрытую катализатором, предварительно нагретую до температуры, превышающей разложение углеродсодержащего газа. Углеродсодержащий газ напускают до давления 1-10-4 торр. Откачивание реактора производят через 1-300 с после напуска углеродсодержащего газа с одновременным охлаждением его до комнатной температуры со скоростью 10-100°/мин. В качестве углеродсодержащего газа берут газ, выбранный из ряда: ацетилен, метан, этан, пропан, бутан, этилен, гексан, или комбинацию этих газов с инертным газом. В качестве катализатора используют металл, выбранный из ряда: Fe, Ni, Сu, или комбинацию металлов, включающую, по крайней мере, два из вышеупомянутых. Пленка катализатора имеет толщину 1-5000 нм. Изобретение обеспечивает получение графеновой пленки простым и технологичным способом. 6 з.п. ф-лы, 6 ил., 14 пр.
Изобретение относится к области микро- и наноэлектроники и может быть использовано для разработки новых более совершенных наноприборов, таких как фотодетекторы, сенсоры, полевые транзисторы, светодиоды и т.д
СТРУКТУРА ГЕТЕРОГЕННОГО р-n ПЕРЕХОДА НА ОСНОВЕ НАНОСТЕРЖНЕЙ ОКСИДА ЦИНКА И ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛЕНКИ // 2323872
Изобретение относится к области микро- и наноэлектроники и может быть использовано для разработки новых наноприборов на основе р-n перехода, таких как фотодетекторы, сенсоры, полевые транзисторы, светодиоды и т.д
ДАТЧИК ХОЛЛА ДЛЯ ЛОКАЛЬНОЙ МАГНИТОМЕТРИИ // 2321013
Изобретение относится к области приборостроения, в частности к тонкопленочным датчикам на основе экстраординарного эффекта Холла, и может быть использовано в микроэлектронике при измерении и регистрации локальных магнитных полей и величин электрического тока, а также при разработке микроэлектронных устройств нового поколения
