Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при градуировке акселерометров, предназначенных для измерения знакопеременных ускорений
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке и изготовлении малогабаритных полупроводниковых емкостных акселерометров