Патенты автора Соловьев Юрий Владимирович (RU)
Использование: микроэлектроника, технология полупроводниковых излучающих приборов, для изготовления меза-структуры полосковых лазеров. Сущность изобретения: способ включает формирование омического контакта к приконтактному слою p-типа проводимости лазерной гетероструктуры методом взрывной фотолитографии, усиление омического контакта локальным гальваническим осаждением, формирование меза-структуры полоскового лазера плазмохимическим травлением, вжигание омического контакта быстрым термическим отжигом. При этом достигается снижение трудоемкости изготовления меза-структуры полоскового лазера за счет исключения технологических операций по созданию и удалению защитной маски при формировании меза-структуры полоскового типа и прецизионного совмещения топологии омического контакта и топологии меза-структуры. 3 ил.
КОМПЕНСАЦИОННЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР // 2545469
Изобретение относится к измерительной технике, представляет собой компенсационный акселерометр и предназначено для использования в качестве измерительного преобразователя линейных ускорений. Акселерометр содержит корпус, первую пластину из монокристаллического кремния с подвижной и неподвижной частями и соединяющими их упругими перемычками по оси подвеса, дифференциальный емкостный преобразователь положения с двумя неподвижными электродами на второй пластине, третью пластину, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом и компенсационной катушкой, установленной на двух подставках на подвижной части, груз на подвижной части, усилитель. Для минимизации угловой деформации подвижной части первой пластины при температурных воздействиях на ней в области расположения установленных симметрично относительно оси подвеса подставок выполнены прорези. Техническим результатом является повышение точности измерения ускорения. 4 з.п. ф-лы, 5 ил.
АКСЕЛЕРОМЕТР // 2514150
Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к измерительным преобразователям линейных ускорений. Акселерометр содержит корпус, первую пластину с внешней подвижной частью, внутренней неподвижной частью и соединяющими их упругими перемычками по оси подвеса, дифференциальный емкостный преобразователь положения, вторую пластину с электродами, третью пластину, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом и компенсационной катушкой, груз на подвижной части первой пластины, усилитель. В соответствии с изобретением груз на подвижной части первой пластины расположен выше оси подвеса, сторона части второй пластины выше оси подвеса выполнена прямолинейной, расстояние прямолинейной стороны второй пластины от оси подвеса выполнено в соответствии с расчетным соотношением. Технический результат - повышение точности измерения ускорения. 4 ил.
КОМПЕНСАЦИОННЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР // 2514151
Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к измерительным преобразователям линейного ускорения. Компенсационный акселерометр содержит корпус со стойкой, первую пластину из монокристаллического кремния, вторую пластину с двумя неподвижными электродами дифференциального емкостного преобразователя положения, третью пластину, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом, усилитель, причем последовательно по длине стойки от основания стойки установлены постоянный магнит, вторая пластина, первая пластина и третья пластина. В соответствии с изобретением на стойку установлена втулка из инвара, на которой расположены вторая пластина, первая пластина и третья пластина. Вторая и третья пластины выполнены из пирекса. Технический результат - повышение точности измерения ускорения. 3 ил.
АКСЕЛЕРОМЕТР // 2461838
Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к компенсационным преобразователям линейного ускорения
Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к преобразователям угловой скорости в электрический сигнал
РЕЗОНАТОР ВИБРАЦИОННОГО ГИРОСКОПА // 2423666
Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к преобразователям угловой скорости в электрический сигнал
ВИБРАЦИОННЫЙ ГИРОСКОП // 2331845
Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к преобразователям угловой скорости в электрический сигнал
