Патенты автора Кириенко Виктор Владимирович (RU)
Датчик пульсовой волны // 2659625
Изобретение относится к медицинской технике. Датчик пульсовой волны содержит кремниевую микроканальную мембрану (1) с диэлектрическим слоем (2) на поверхности, камеру (5), упругие мембраны (6), электроды (3). Камера заполнена рабочей жидкостью (8) и соединена с возможностью формирования внутренних полостей камеры и перемещения рабочей жидкости (8) между внутренними полостями камеры с кремниевой микроканальной мембраной (1). Камера (5) снабжена упругими мембранами (6) для возможности перемещения рабочей жидкости (8) между внутренними полостями камеры при механическом воздействии, по крайней мере, на одну из них. Во внутренних полостях камеры (5) расположено по электроду (3). В отношении электродов обеспечено появление разности электрических потенциалов при движении рабочей жидкости через микроканалы и разделении электрических зарядов между торцевыми поверхностями кремниевой микроканальной мембраны. Достигается высокая чувствительность датчика при неинвазивном способе применения и без электронной обработки измеряемого сигнала. 4 з.п. ф-лы, 7 ил.
Изобретение относится к области электронной техники, преимущественно микро- и наноэлектронике, и может быть использовано в производстве радиационностойких интегральных схем, датчиков и устройств микроэлектромеханических систем на изолирующих подложках
