Патенты автора Муравицкий Степан Александрович (RU)

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ // 2475451

Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КРЕПЛЕНИЯ СТЕРЖНЕЙ-ПОДЛОЖЕК В РЕАКТОРЕ ВЫРАЩИВАНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ // 2398055

Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни-подложки в процессе водородного восстановления кремния из хлорсиланов

РАЗЪЕМНЫЙ РЕАКТОР ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕРЖНЕЙ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ // 2382836

Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристалличсского кремния осаждением на нагретые стержни (основы) в процессе водородного восстановления хлорсиланов

РАЗЪЕМНЫЙ РЕАКТОР ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕРЖНЕЙ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ // 2382835

Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые стержни (основы) в процессе водородного восстановления хлорсиланов

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ // 2357923

Изобретение относится к химической технологии, а именно к способам получения поликристаллического кремния из хлорсиланов посредством их восстановления водородом на разогретых кремниевых стержнях, и может быть использовано в технологии получения поликристаллического кремния

УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕРЖНЕЙ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ // 2357024

Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые основы в процессе водородного восстановления хлорсиланов

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ ГИДРИРОВАНИЕМ ТЕТРАХЛОРИДА КРЕМНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ // 2350558

Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРУЕМОГО НАГРЕВАНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СТЕРЖНЕЙ // 2346416

Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству кремния в реакторах водородного восстановления полихлорсиланов, и может быть использовано для регулируемого нагревания стержней поликристаллического кремния в реакторе

СПОСОБ ВЫВОДА ПОЛИСИЛАНХЛОРИДОВ ИЗ ПАРОГАЗОВОЙ СМЕСИ, ОТХОДЯЩЕЙ ОТ УСТАНОВОК ВОДОРОДНОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ, И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ // 2344993

Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству полупроводникового кремния, к созданию устройства для вывода полисиланхлоридов, образующихся при проведении процесса водородного восстановления кремния, из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ // 2342320

Изобретение относится к химической технологии, а именно к способам получения поликристаллического кремния из хлорсиланов по замкнутому технологическому циклу с выделением хлорсиланов, водорода, хлористого водорода, полисиланхлоридов

РЕАКТОР ВОДОРОДНОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ // 2341456

Изобретение относится к аппаратам химической технологии, а именно к реакторам водородного восстановления кремния

СПОСОБ ПЕРЕРАБОТКИ КУБОВОГО ОСТАТКА, СОДЕРЖАЩЕГО ПОЛИСИЛАНХЛОРИДЫ // 2341455

Изобретение относится к химической промышленности и может применяться в производстве поликристаллического кремния на установках водородного восстановления

СПОСОБ ОЧИСТКИ ВНУТРЕННИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ УСТАНОВОК ВОДОРОДНОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ ОТ ПОЛИСИЛАНХЛОРИДОВ // 2341454

Изобретение относится к химической промышленности и может применяться для очистки от полисиланхлоридов установок водородного восстановления поликристаллического кремния

УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ // 2334677

Изобретение относится к производству поликристаллического кремния