Патенты автора Афанасьев Михаил Мефодьевич (RU)
СЕЛЕКТИВНЫЙ ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ ТИТАНАТА БАРИЯ // 2674118
Изобретение относится к составам для жидкостного травления сегнетоэлектрических пленок, в частности пленки титаната бария, над пленкой платины на кремниевой подложке. Селективный травитель сегнетоэлектрика титаната бария включает фтористоводородную кислоту (10-50 об.%), серную кислоту (25-50 об.%), соляную кислоту (10-35 об.%), фторсодержащие ПАВ (0,01-0,5 об.%), деионизованную воду (остальное). Технический результат - обеспечение воспроизводимости топологии элементов интегральной микросхемы при селективном стравливании слоя сегнетоэлектрических пленок титаната бария на кремниевой подложке над пленками SiO2, PolySi, TiO2, Pt и маской пленки фоторезиста со скоростью не ниже 0,6 мкм/мин при температурах не выше 60°С. 1 з.п. ф-лы, 1 табл.
Изобретение относится к негативным фоторезистам для процессов формирования топологических элементов микроэлектронных устройств с использованием «взрывной» фотолитографии. Предложена композиция негативного фоторезиста для «взрывной» фотолитографии, содержащая (мас.%) фенолоформальдегидную смолу (25,0-40,0), гексаметоксиметилмеламин (5,0-8,0), α-(4-тозилоксимино)-4-метоксибензилцианид (1,0-2,0), органическое основание (0,04-0,20), фторалифатический эфир (0,1-2,0), Тинувин 1130 (1,0-10,0) и органические растворители (50,0-66,0). Технический результат – предложенная композиция фоторезиста позволяет получать четкий рисунок фотошаблона и увеличить отрицательный угол наклона маски фоторезиста, что улучшает качество проведения «взрывной» фотолитографии. 2 ил., 11 пр.
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БИОЦИДА // 2429857
Изобретение относится к способу получения биоцида, который заключается в активации бентонита Na-формы ионами натрия путем его обработки водным раствором хлористого натрия с последующим удалением анионов хлора при промывке и фильтровании полученного полуфабриката
Изобретение относится к технологическим процессам производства целлюлозосодержащих материалов, а именно бумаги, обладающей биоцидными свойствами и предназначенной для широкого применения, в том числе, печатной бумаги, ценных бумаг и бумаги санитарно-гигиенического назначения
Изобретение относится к химической промышленности по производству лакокрасочных материалов, в частности к составам для покрытий, обладающих биоцидными свойствами при обработке различных поверхностей конструкционных изделий, изготовленных из металла, дерева, бетона и т.д
