Патенты автора Генцелев Александр Николаевич (RU)
Способ изготовления микрофлюидных биочипов // 2773809
Изобретение относится к биотехнологии, в частности к способу изготовления микрорельефа на рабочей поверхности оптически прозрачной базовой пластины и соединения базовой и защитной пластин, обеспечивающему массовое производство биочипов и их функционирование совместно с трансдьюсерами флуоресцентного типа в широком спектральном диапазоне, что достигается путем отливки базовой пластины из предварительно облученного электронами мономера ММА, без введения в него каких-либо инициаторов полимеризации и иных добавок, и соединения (склейки) базовой и защитной пластин посредством того же самого облученного электронами мономера ММА. Предлагаемый способ исключает активное воздействие на поверхность материала, которое приводит к изменению свойств поверхности, а также исключает использование различных химических веществ, вводимых в состав полимера. Такой подход позволяет исключить неконтролируемую иммобилизацию (фиксацию) биологических объектов в каналах биочипа и дополнительное фоновое «свечение» материала биочипа в потоках зондирующего излучения при использовании флуоресцентных методов детектирования. 2 з.п. ф-лы, 4 ил., 1 пр.
Использование: для селекции электромагнитного излучения. Сущность изобретения заключается в том, что изготовление предназначенного для селекции электромагнитного излучения микроструктурного элемента, выполненного в виде металлической перфорированной самонесущей сеточной структуры, включает в себя литографические процессы по формированию резистивной маски, задающей топологию микроструктурного элемента, а также фиксацию изготовленной сеточной структуры в несущей рамке, при этом сеточную структуру изготавливают из заготовки, выполненной из промышленно-выпускаемой фольги, путем ее перфорации посредством плазмохимического травления через полученную при помощи резистивной маски металлическую защитную маску, металл которой характеризуется малой по сравнению с металлом фольги скоростью травления в соответствующей химически активной плазме, применяемой для травления металла фольги. Технический результат: упрощение изготовления самонесущих металлических сеточных структур для селекции электромагнитного излучения. 6 з.п. ф-лы, 6 ил.
Изобретение относится к рентгенолитографии. Способ изготовления самонесущего рентгеношаблона включает процессы формирования литографическими способами на одной из поверхностей металлической фольги защитной маски из металла, имеющего малую по сравнению с металлом фольги скорость травления в соответствующем составе химически активной плазмы, травящей металл фольги, процессы предварительного принудительного распрямления фольги и ее фиксации посредством клеящего вещества на металлической шайбе, устанавливаемой на рабочем столике установки плазмохимического травления, процесс сквозного травления фольги через защитную маску в установке плазмохимического травления, при этом согласно изобретению в качестве клеящего вещества фиксирующего фольгу на металлической шайбе используют жидкий металл галлий с последующим его отвердеванием при охлаждении сборки: фольга, металл галлий, металлическая шайба - до температуры ниже температуры плавления галлия (Тпл.=29,78°С). Изобретение исключает коробление фольги и изменения свойств резиста. 2 з.п. ф-лы, 5 ил.
Изобретение относится к изготовлению вкладыша пресс-формы или литьевой формы и может быть использовано в массовом изготовлении штамповкой или литьем микрофлюидных биочипов из полимерных материалов. Предложенный способ включает подготовку плоскопараллельной металлической заготовки вкладыша с полированной рабочей поверхностью, формирование на ней посредством литографии топологического маскирующего слоя, последующее плазмохимическое травление и удаление остатков маскирующего слоя после операции плазмохимического травления на последнем этапе формирования рельефа. Маскирующий слой выполняют из алюминия, при этом плазмохимическое травление металла заготовки указанного вкладыша осуществляют более чем в сто раз быстрее по сравнению со скоростью травления маскирующего слоя. Формирование посредством литографии алюминиевого маскирующего слоя и последующее плазмохимическое травление через упомянутый маскирующий слой металла упомянутого вкладыша проводят с требуемым количеством итераций для формирования многоуровневого рельефа. В частных случаях осуществления изобретения на полированную рабочую поверхность плоскопараллельной металлической заготовки вкладыша предварительно до нанесения маскирующего слоя наносят методом магнетронного напыления металлические адгезионные подслои. Остатки алюминиевого маскирующего слоя оставляют до конца изготовления рельефа заготовки вкладыша. На сформированный рельеф наносят антикоррозийное или антиадгезионное покрытие для улучшения эксплуатационных характеристик изготавливаемого вкладыша. На второй и последующих итерациях после плазмохимического травления формируют резистивную маску с припуском во избежание многократного подтрава первоначально сформированного металлического маскирующего слоя. Обеспечивается возможность многократного использования литографии для изготовления многоуровнего рельефа в том числе субмикронных размеров. 4 з.п. ф-лы, 3 ил.
Изобретение относится к способу изготовления рентгеношаблона. Способ изготовления рентгеношаблона включает в себя процессы формирования топологического маскирующего рентгенопоглощающего слоя путем перфорации металлической фольги и ее фиксации в опорном кольце. На одной из поверхностей металлической фольги создают защитную маску из металла, имеющего малую по сравнению с металлом фольги скорость травления в соответствующей химически активной плазме, травящей металл фольги, затем фольгу размещают на охлаждаемом столике установки плазмохимического травления и производят сквозное травление отверстий в фольге через защитную маску посредством воздействия потока химически активных ионов. Изготовленный таким образом рентгеношаблон не содержит несущей мембраны и поэтому характеризуется максимально достижимыми уровнями рентгенолитографической контрастности (при заданных материале и толщине маскирующего слоя), а также сравнительно высокой механической прочностью. 4 з.п. ф-лы, 5 ил.
Использование: для изготовления кремниевого рентгеношаблона. Сущность изобретения заключается в том, что способ включает в себя процессы предварительного отбора плоскопараллельных кремниевых пластин, напыления проводящих адгезивных подслоев из легких (т.е. с малым атомным весом) металлов на рабочую поверхность кремниевой пластины (подложки), формирования на рабочей поверхности резистивной маски, электроосаждения рентгенопоглощающего маскирующего слоя из тяжелых металлов через резистивную маску, ее последующее удаление и формирование опорного кольца и несущей мембраны шаблона путем частичного удаления травлением центральной части кремниевой пластины с ее тыльной стороны, формирование опорного кольца и несущей мембраны шаблона производится посредством плазмохимического травления через трафарет или предварительно сформированную непосредственно на тыльной стороне пластины защитную маску, трафарет и защитная маска должны быть выполнены из материалов, характеризующихся сравнительно малой скоростью травления по сравнению с кремнием, например, из алюминия или его сплавов. Технический результат: обеспечение возможности упрощения изготовления рентгеношаблона. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.
Изобретение относится к способу изготовления рентгенолитографического шаблона, т.е. маски для рентгеновской литографии, рентгенолитографической маски, рентгеновского шаблона, для формирования резистивной маски или скрытого изображения в рентгеночувствительных материалах способом трафаретной рентгеновской литографии. Способ изготовления рентгеношаблона характеризуется тем, что его многослойную несущую мембрану формируют путем напыления на кремниевую пластину нескольких слоев различных материалов с малым атомным весом, рентгенопоглощающий топологический рисунок создается известным способом гальванического осаждения через резистивную маску металла с большим атомным номером, а опорное кольцо и рентгенопрозрачное окно в подложке формируются в едином процессе посредством плазмохимического травления кремниевой пластины с тыльной стороны через трафарет. Травление производят до стоп-слоя, в качестве которого может быть использован слой алюминия, или с оставлением тонкого слоя кремния и остановкой процесса травления в определенный момент времени по показаниям датчика или на основании расчетов. В качестве маски для формирования рентгенопрозрачного окна или нескольких окон в кремниевой подложке и соответственно опорного кольца рентгеношаблона используют трафарет из материала, скорость травления которого по сравнению с кремнием незначительна, меньше в 10 и более раз. Способ согласно изобретению существенно упрощает технологию изготовления рентгеношаблона, снижая его себестоимость, позволяет увеличить прочность несущей мембраны, а также обеспечивает возможность формирования многослойных несущих мембран путем комбинации слоев различных материалов разной толщины. 3 з.п. ф-лы, 5 ил.
МИКРОСТРУКТУРНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ДЛЯ СЕЛЕКЦИИ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ И СПОСОБ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯ // 2548945
Использование: для селекции электромагнитного излучения. Сущность изобретения заключается в том, что микроструктурный элемент выполнен в виде перфорированной сеточной структуры, объем которой в основном выполнен из полимерной пленки и вся ее поверхность, включая внутренние полости, металлизирована. Технический результат: обеспечение возможности формирования перфорированных пленок в диапазоне толщин от нескольких микрометров до нескольких миллиметров. 2 н. и 3 з.п. ф-лы, 3 ил.
РЕНТГЕНОШАБЛОН И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ // 2546989
Изобретение относится к конструкции и способу изготовления рентгеношаблонов, преимущественно для «мягкой» рентгенолитографии (где основная часть экспонирующего излучения находится в спектральном диапазоне - λ≈2,5÷9 Å). Рентгеношаблон содержит опорное кольцо, прикрепленную к нему несущую мембрану со сформированным на ее рабочей поверхности топологическим ренгенопоглощающим рисунком, при этом опорное кольцо содержит участок «плавного перехода», выполненный из того же материала, что и опорное кольцо, и примыкающий к внутренней боковой стенке опорного кольца и несущей мембране. Технический результат - повышение сохранности несущей мембраны. 2 н. и 3 з.п. ф-лы, 5 ил.
РЕНТГЕНОШАБЛОН И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ // 2488910
Изобретение относится к изготовлению рентгеношаблонов, преимущественно для «мягкой» литографии
Изобретение относится к LIGA-технологии, а точнее к конструкции и способу изготовления рентгенолитографических шаблонов, включая переходные рентгеношаблоны и LIGA-шаблоны (ЛИГА-шаблоны), имеющих периодическую сеточную структуру, которые могут быть использованы для получения, в частности, широко известных металлических сеточных структур (МСС), применяемых для частотной и пространственной селекции электромагнитного излучения
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ LIGA-ШАБЛОНА // 2431881
Изобретение относится к LIGA-технологии, а точнее к способу изготовления LIGA-шаблона (ЛИГА-шаблона), используемого для проведения первой стадии LIGA-технологии - глубокой рентгеновской литографии
Изобретение относится к конструкции и способу изготовления используемых для фильтрации электромагнитного излучения перфорированных (со сквозными отверстиями) металлических сеточных структур (МСС)
Изобретение относится к способу проведения трафаретной сканирующей синхротронной рентгеновской литографии, то есть к способу проведения экспонирования слоев рентгенорезиста или рентгеночувствительного материала, нанесенного на рабочую поверхность обрабатываемой подложки, с использованием рентгеношаблона и пучков синхротронного излучения (СИ), сканирующих рабочее поле рентгеношаблона, и может быть применено в различных вариантах вышеуказанного способа, то есть как в теневой, так и в проекционной трафаретных синхротронных сканирующих рентгеновских литографиях
Изобретение относится к способу проведения трафаретной рентгеновской литографии, начиная с этапа изготовления рентгеношаблона (маски для рентгеновской литографии, рентгенолитографической маски, рентгеновского шаблона), применяемого для проведения трафаретной рентгеновской литографии, и заканчивая этапом проведения экспонирования слоев рентгенорезиста или рентгеночувствительного материала с использованием рентгеношаблона и мощных потоков экспонирующего излучения (ЭИ)
Изобретение относится к измерительной технике
