Патенты автора Папко Антонина Алексеевна (RU)
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СФЕРИЧЕСКОГО РЕЗОНАТОРА // 2717262
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться при создании резонаторов твердотельных волновых гироскопов и датчиков угловой скорости. В способе изготовления сферического резонатора формируют глухие отверстия в кремниевой пластине с планарной стороны, размещают на ней стеклянную пластину. Проводят первое анодное соединение кремниевой и стеклянной пластин при атмосферном давлении с герметизацией глухих отверстий, утоняют стеклянную пластину до заданной толщины. Нагревают соединенные пластины до температуры размягчения стекла до появления микросфер за счет термически генерируемого давления, обусловленного расширением газа, заключенного в герметизированных глухих отверстиях. Травят кремниевую пластину с непланарной стороны со вскрытием глухих отверстий. Размещают вторую стеклянную пластину на кремниевой пластине с непланарной стороны и проводят второе анодное соединение кремниевой пластины со стеклянной пластиной с образованием внутренней вакуумированной полости. Перед нагревом соединенных пластин их располагают с ориентацией стеклянной пластины «вниз», перед травлением кремниевой пластины проводят стабилизирующий отжиг при температуре, ниже температуры размягчения стекла. Стабилизирующий отжиг и нагрев пластин до температуры размягчения стекла проводят во влажной атмосфере. Технический результат изобретения - повышение метрологических характеристик за счет снижения дрейфа нуля и повышения добротности путем формирования сферических резонаторов с формой, приближающейся к идеальной при отсутствии дефектов его структуры. 6 ил.
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОГИРОСКОПА // 2712927
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться при изготовлении кремниевых чувствительных элементов микромеханических датчиков угловой скорости, гироскопов. Изобретение обеспечивает улучшение метрологических характеристик микрогироскопа за счет повышения степени вакуума во внутренней полости прибора. Способ изготовления микрогироскопа включает изготовление деталей и сборочных единиц, сборку резонатора на основании, накрытие крышкой и герметизацию крышки с основанием лазерной сваркой, обезгаживание и вакуумирование микрогироскопа в одном операционном цикле при остаточном давлении не более чем 5⋅10-5 мм рт.ст. при температуре не менее 150°С в течение не менее 4 часов. При этом перед сборкой резонатора на основании на внутренние поверхности основания и крышки наносят пленку титана. Обезгаживание и вакуумирование проводят в камере нагрева через откачную трубку, расположенную на крышке, герметизацию проводят на воздухе. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
Твердотельный волновой гироскоп // 2708907
Изобретение относится к метрологии, в частности, к твердотельным волновым гироскопам. Твердотельный волновой гироскоп содержит резонатор в виде осесимметричного тонкостенного элемента, способного к вибрации, один электрод резонатора, множество электродов датчиков, электродов управления, электронный блок управления, содержащий устройства вычисления угла, стабилизации амплитуды колебаний, подавления квадратурных колебаний и соединенный с электродами резонатора, электродами датчиков, электродами управления. Электронный блок управления дополнительно содержит компаратор с гистерезисом, устройство фазовой автоподстройки частоты, модулятор, сумматор, аналого-цифровой преобразователь, микроконтроллер. Выходы устройств вычисления угла соединены через аналого-цифровой преобразователь с микроконтроллером, а также через устройство подавления квадратурных колебаний с устройством стабилизации амплитуды колебаний. Выход устройства подавления квадратурных колебаний соединен с входом сумматора, выход одного из устройств вычисления угла последовательно соединен с компаратором с гистерезисом и устройством фазовой автоподстройки частоты, выход которого через модулятор соединен с сумматором. Технический результат - улучшение метрологических характеристик за счет уменьшения времени вхождения в рабочий режим, повышение точности и стабильности гироскопа. 1 ил.
КОМПЕНСАЦИОННЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР // 2536855
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для высокоточного измерения ускорений в системах коррекции дальности полета реактивных снарядов. Целью предлагаемого изобретения является уменьшение температурной нестабильности коэффициента преобразования акселерометра. Компенсационный акселерометр содержит инерционный элемент (1), колебательную систему (2), преобразователь перемещения (3), усилитель цепи уравновешивания (4), обратный преобразователь (5), узел подключения масштабирующего резистора (6), термокомпенсирующий усилитель (7). В цепь отрицательной обратной связи термокомпенсирующего усилителя между его инвертирующим входом и резистором обратной связи включена цепь, состоящая из датчика температуры R01, зашунтированного резистором RШ1, значение электрического сопротивления которого выбирается из условия:
где
где K∑(t) - скомпенсированное значение температурной нестабильности коэффициента преобразования акселерометра; Kt0(t0), Kt0(Δt1), Kt0(Δt2) - температурная характеристика усилителя термокомпенсации при отключенных датчиках температуры в условиях воздействия номинальной, пониженной и повышенной рабочих температур акселерометра соответственно; KA(t0), KA(Δt1), KA(Δt2) - температурная характеристика акселерометра при отключенных датчиках температуры в условиях воздействия номинальной, пониженной и повышенной рабочих температур акселерометра соответственно; Kt(t0), Kt(Δt1), Kt(Δt2) - температурная характеристика выбранной конфигурации термокомпенсирующего усилителя в условиях воздействия номинальной, пониженной и повышенной рабочих температур акселерометра соответственно; R0, R01 - электрическое сопротивление медных катушек, подключенных ко входу термокомпенсирующего усилителя и в цепь его отрицательной обратной связи соответственно, при номинальном значении окружающей среды; αR, αM - температурные коэффициенты сопротивления резисторов RП, RП1 и медных катушек R0, R01 соответственно; Δt - приращение значения температуры окружающей среды акселерометра относительно ее номинального значения. Подключение двух датчиков температуры в схему термокомпенсирующего усилителя позволяет линеаризовать скомпенсированную температурную характеристику акселерометра, что обеспечивает уменьшение температурной нестабильности его коэффициента преобразования и снижение трудоемкости процесса его температурной отладки. 3 ил.
КОМПЕНСАЦИОННЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР // 2341805
Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения ускорений в системе управления движением реактивного снаряда системы залпового огня
