Патенты автора Рапидов Михаил Ольгердович (RU)
Изобретение относится к области медицины и биотехнологии, в частности к устройствам для осуществления инъекций, а именно к микроиглам, создаваемым технологиями, совместимыми с технологиями изготовления интегральных схем. Способ изготовления микроиглы в интегральном исполнении с внутренними каналами заключается в том, что вначале с первой стороны кремниевой пластины формируют контрольные элементы для точного позиционирования и точного травления. Затем со второй стороны пластины наносят алюминий и сверху слой фоторезиста. Далее проводят глубокое плазмохимическое травление, таким образом формируют каналы. После этого снимают слои фоторезиста и алюминия. Проводят процесс создания защитной пленки с двух сторон пластины. Затем с первой стороны кремниевой пластины, заодно с формированием маски формируют поддерживающие элементы - подвесы, например, в форме полос или пилообразных зубцов. Поддерживающие элементы - подвесы формируются так, что направление продольной оси поддерживающих элементов - подвесов совпадает с кристаллографическим направлением <111>, далее с первой стороны проводят глубокое анизотропное травление и снимают остатки защитной пленки. Задачей, на которое направлено настоящее изобретение является уменьшение размеров микроиглы, создание более простой технологии изготовления, улучшение параметров микроиглы (прочность, гладкость, воспроизводимость размеров), уменьшение соотношения между толщиной стенок и диаметром канала и за счет всего этого расширение функциональных возможностей микроиглы. 5 ил.
Использование: для формирования микроигл. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления микроигл и массива микроигл заключается в нанесении на верхней поверхности монокристаллической кремниевой подложки с ориентацией (100) защитной пленки, формировании в ней маски и последующем локальном анизотропном травлении кремния, при этом заодно с формированием маски между маской и периферийной областью защитной пленки, образующей при травлении внешнюю рамку, а также между соседними масками при изготовлении массива микроигл формируют поддерживающие элементы - подвесы, например, в форме полос или пилообразных зубцов, причем поддерживающие элементы - подвесы формируются так, что направление продольной оси поддерживающих элементов - подвесов совпадает с кристаллографическим направлением <111>. Технический результат: обеспечение возможности повышения качества и точности воспроизведения микроигл. 5 ил.
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться для изготовления микромеханических элементов, используемых, в частности, для подвеса чувствительных масс микромеханических измерительных устройств, например кремниевых гироскопов и акселерометров, микроигл и т.д. Изобретение обеспечивает снижение трудоемкости изготовления и повышение качества и точности воспроизведения микромеханических элементов. В способе изготовления микромеханических элементов из пластин монокристаллического кремния ориентацией (100) вначале анизотропно травят пластину на глубину для получения требуемой толщины микромеханических элементов, одновременно с вышеуказанными операциями по формированию микромеханических элементов формируют тестовую структуру контрольных элементов, расположенную в зоне микромеханических элементов, формирование проводят на заданную глубину, определяемую математическим выражениями, и при этом формируют шкалы тестовой структуры. 4 ил.
Изобретение относится к приборостроению и может применяться для изготовления конструктивных элементов микромеханических приборов на кремниевых монокристаллических подложках, а именно упругих подвесов и всего чувствительного элемента в целом, например для микромеханических акселерометров и гироскопов. Изобретение обеспечивает снижение трудоемкости изготовления и повышение качества структур. Способ микропрофилирования кремниевых структур включает нанесение защитной пленки на пластину из монокристаллического кремния, формирование из защитной пленки локальной маски в области формирования микропрофиля, анизотропное травление пластины монокристаллического кремния, нанесение защитной пленки, нанесение слоя поликристаллического кремния, анизотропное травление поликристаллического кремния, окисление поликристаллического кремния, травление диоксида кремния со вновь наносимой защитной пленки, травление защитной пленки до поверхности пластины и анизотропное травление в образовавшемся окне пластины монокристаллического кремния. Повторяют поочередно эти процессы необходимое количество раз до получения требуемого микропрофиля с последующим сглаживанием в изотропном или анизотропном травителе или анизотропном и изотропном травителях полученной поверхности. 2 ил.
Изобретение относится к изготовлению конструктивных элементов микромеханических приборов на кремниевых монокристаллических подложках. Изобретение обеспечивает снижение трудоемкости изготовления и повышение качества структур. Способ изготовления глубокопрофилированных кремниевых структур включает нанесение защитной пленки на плоскую пластину из монокристаллического кремния с ориентацией поверхности в плоскости (100), нанесение на нее с двух сторон защитного слоя фоторезиста, проведение одно-двухсторонней фотолитографии, вскрытие окон в защитной пленке, повторное нанесение защитной пленки, проведение одно-двухсторонней фотолитографии, вскрытие окон меньшего размера до поверхности пластины, проведение анизотропного травления в образовавшемся окне, стравливание защитной пленки и проведение анизотропного травления. Представлены альтернативные способы изготовления глубокопрофилированных структур. 5 ил.
ЛЕЗВИЕ ОФТАЛЬМОХИРУРГИЧЕСКОЕ // 2534392
Изобретение относится к офтальмологии и может быть использовано для проведения микрохирургических операций. Лезвие офтальмохирургическое содержит корпус с основанием из монокристаллического кремния и режущую кромку. Основание корпуса и режущая кромка порыты слоями нитрида кремния толщиной 100-1000 Å и нитрида титана 500-700 Å. Техническим результатом изобретения является повышение прочности, твердости, износостойкости. 1 ил.
ЛЕЗВИЕ ОФТАЛЬМОХИРУРГИЧЕСКОЕ // 2483684
Изобретение относится к медицине и представляет собой лезвие офтальмохирургическое
Изобретение относится к медицинским инструментам и может быть использовано в микрохирургии
