Патенты автора МАЙЛС Марк В. (US)
Изобретение относится к устройствам на основе микроэлектромеханических систем (MEMS-устройств)
Изобретение относится к микроэлектромеханическим системам (МЭМС) и монтажу таких систем в корпусе
МОДУЛЯТОР С РАЗДЕЛЯЕМЫМИ СВОЙСТВАМИ // 2351969
Изобретение относится к модуляторам с разделяемыми свойствами
РЕГУЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОГО ПОВЕДЕНИЯ СТРУКТУР В УСТРОЙСТВЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ // 2348088
Изобретение относится к тонкопленочным структурам в устройствах микроэлектромеханических систем и к электромеханическому и оптическому откликам этих тонкопленочных структур
