Патенты автора БЕЙТИ Джон (US)
Изобретение относится к устройствам на основе микроэлектромеханических систем (MEMS-устройств)
РЕГУЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОГО ПОВЕДЕНИЯ СТРУКТУР В УСТРОЙСТВЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ // 2348088
Изобретение относится к тонкопленочным структурам в устройствах микроэлектромеханических систем и к электромеханическому и оптическому откликам этих тонкопленочных структур
