Патенты автора Супоненко Александр Николаевич (RU)

СПОСОБ ПЕРЕРАБОТКИ КРЕМНИЙСОДЕРЖАЩИХ ОТХОДОВ ПЛАМЕННЫМ ГИДРОЛИЗОМ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ // 2440928

Изобретение относится к химическим технологиям получения диоксида кремния из отходов, а именно к способам получения пирогенного диоксида кремния методом пламенного гидролиза газообразных или испаряемых соединений кремния и устройствам для их осуществления

СПОСОБ ГЛУБОКОЙ ОЧИСТКИ ТРИХЛОРСИЛАНА ОТ ВЫСОКОКИПЯЩИХ СОЕДИНЕНИЙ // 2426691

Изобретение относится к технологии получения хлоридов кремния, а именно к способам получения высокочистого трихлорсилана (ТХС) и может быть использовано в производстве полупроводникового кремния

СПОСОБ ПОДГОТОВКИ КВАРЦЕВЫХ ТИГЛЕЙ ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ // 2355833

Изобретение относится к области получения полупроводниковых материалов

СПОСОБ ПОДГОТОВКИ КВАРЦЕВЫХ ТИГЛЕЙ ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ // 2354761

Изобретение относится к области получения монокристаллов полупроводниковых материалов