Патенты автора Семёнов Валерий Васильевич (RU)

Изобретение относится к системам кондиционирования воздуха для контроля и автоматического поддержания комфортной температуры в транспортном средстве

Изобретение относится к производству водорода, кремниевой кислоты из металлургического кремния

Изобретение относится к получению гидридов кремния, в том числе моносилана высокой чистоты, предназначенного для формирования полупроводниковых и диэлектрических слоев, синтеза кремнийорганических соединений, термического осаждения (диссоциации) поликристаллического кремния
Изобретение относится к области получения кремния и может быть использовано в производстве кремния полупроводниковой или электронной чистоты

 


Наверх