FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Серов Михаил Михайлович (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ИЗ СИЛАНОВ
// 2357795
Изобретение относится к области получения кремния и может быть использовано в производстве кремния полупроводниковой или электронной чистоты