Патенты автора Филиппов Михаил Николаевич (RU)
Изобретение относится к области растровой электронной микроскопии. В изобретении используется принцип фотограмметрической обработки изображений, полученных в растровом электронном микроскопе при различных углах наклона исследуемого образца. Сущность изобретения: на поверхности исследуемого образца предварительно формируется островковая пленка, создающая контраст на изображении, результаты фотограмметрической обработки изображений корректируются на значения индивидуальной высоты островков, определяемых на плоском участке поверхности. Технический результат - повышение точности результатов трехмерной реконструкции. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.
Изобретение относится к области растровой электронной микроскопии. В изобретении используется принцип фотограмметрической обработки изображений, полученных в растровом электронном микроскопе при различных углах наклона исследуемого образца. На поверхности исследуемого образца предварительно формируются структурные элементы сферической формы, создающие контраст на изображении, результаты фотограмметрической обработки изображений корректируются на значения индивидуальной высоты структурных элементов, определяемых по изображениям. Технический результат - повышение точности результатов трехмерной реконструкции. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Способ количественной трехмерной реконструкции поверхности кремниевых микро- и наноструктур // 2622896
Изобретение относится к области растровой электронной микроскопии. В изобретении используется принцип фотограмметрической обработки изображений, полученных в растровом электронном микроскопе при различных углах наклона исследуемого объекта. Сущность изобретения: исследуемая кремниевая структура предварительно подвергается плазменной обработке при помощи высокочастотного разряда пониженного давления, причем мощность разряда и продолжительность обработки устанавливаются достаточными для возникновения и визуализации в растровом электронном микроскопе морфологических особенностей нанометрового масштаба на поверхности исследуемого объекта. Технический результат - повышение точности результатов трехмерной реконструкции. 1 ил.
Изобретение относится к области трубопрокатного производства, а именно к изготовлению особотонкостенных труб способом холодной периодической прокатки. Способ включает зажим трубы-заготовки за хвостовую часть патроном подачи и поворота с последующей подачей трубы-заготовки в зону деформации, прокатку трубы-заготовки и перемещение прокатанной трубы внутри вытяжного патрона до достижения патроном подачи и поворота своего крайнего положения, освобождение хвостовой части трубы-заготовки и зажим прокатанной трубы вытяжным патроном, расположенным с выходной стороны стана, докатку хвостовой части трубы-заготовки, при которой трубу вытягивают на величину подачи вытяжным патроном, перемещая его по направлению прокатки, Повышение качества прокатываемых труб, увеличение выхода годного и повышение надежности работы стана обеспечивается за счет того, что вытяжной патрон перемещают посредством сервопривода, скорость перемещения вытяжного патрона равна скорости удлинения трубы при докатке, подачу докатываемой трубы осуществляют синхронно с подачей в зону деформации следующей трубы-заготовки, поворот докатываемой трубы также осуществляют синхронно с поворотом следующей трубы-заготовки. 1 ил., 1 пр.
