Патенты автора Горохов Максим Вадимович (RU)
Изобретение относится к обработке и упрочнению поверхности вольфрамовой пластины, подвергающейся интенсивным тепловым нагрузкам, в частности, в установках термоядерного синтеза, в которых вольфрам используют в качестве материала первой стенки и пластин дивертора. Проводят воздействие на поверхность вольфрамовой пластины вольфрамовыми наночастицами, ускоренными электрическим полем, и образование вольфрамовой пленки толщиной по меньшей мере 100 нм на поверхности вольфрамовой пластины. В качестве вольфрамовых наночастиц используют расплавленные вольфрамовые наночастицы размером до 3 нм, ускоренные электрическим полем до скорости выше 104 см/с. Упомянутые вольфрамовые частицы получают абляцией вольфрамовой мишени импульсами лазерного излучения длительностью (20-50) нс, с энергией излучения в импульсе не менее 190 мДж и плотностью энергии лазерного излучения на вольфрамовой мишени не менее 2⋅108 Вт/см2. Обеспечивается упрощение образования вольфрамовой пленки на поверхности вольфрамовой пластины и снижение вероятности образования микротрещин на ней при воздействии импульсных тепловых нагрузок. 2 ил., 1 пр.
Изобретение относится к устройствам защиты рабочих элементов литографического оборудования от потоков пылевых частиц, в которых запыление элементов оптики продуктами распыления мишени при ее облучении лазерным излучением является критическим. Устройство включает узел (1) зарядки пылевых металлических частиц и узел (2) отклонения пылевых металлических частиц, установленные между источником (3) пылевых металлических частиц и первым оптическим элементом (4) литографического оборудования. Узел (2) отклонения пылевых металлических частиц включает отклоняющие электроды (21) по обе стороны от оси (7) источника пылевых металлических частиц, подключенные к первому источнику постоянного высокого электрического напряжения. Узел (1) зарядки пылевых металлических частиц включает систему (5) формирования потока электронов, расположенную по одну сторону от оси (7) источника (3) пылевых металлических частиц, и собирающий электрод (6), расположенный по другую сторону от оси (7) источника (3) пылевых металлических частиц. Система (5) формирования потока электронов состоит из параллельных друг другу и последовательно расположенных перпендикулярно оси (7) источника (3) пылевых металлических частиц запирающего перфорированного электрода (8), подключенного к источнику (18) постоянного электрического напряжения, эмиттера (9) электронов, соединенного с источником (14) постоянного электрического тока, формирующего заземленного электрода (10) и ускоряющего электрода (11), подключенного к источнику (17) импульсного высокого электрического напряжения, к которому также подсоединен и собирающий электрод (6). Технический результат: повышение эффективности отклонения пылевых металлических частиц и защиты оптических элементов оборудования. 3 з.п. ф-лы, 5 ил.
Группа изобретений относится к получению металлических наночастиц. Способ включает формирование потока ускоряемых металлических микрочастиц, плавление металлических микрочастиц, подачу потока образовавшихся жидких микрокапель в область цилиндрического осесимметричного электростатического поля, ось которого совпадает с осью потока жидких микрокапель, зарядку жидких микрокапель потоком электронов до состояния, в котором начинается их каскадное деление до металлических наночастиц, и осаждение выходящих из области цилиндрического осесимметричного электростатического поля металлических наночастиц на подложку. Плавление металлических микрочастиц ведут посредством импульсного лазерного излучения или стационарного инфракрасного излучения, при этом потенциал в области цилиндрического осесимметричного электростатического поля обеспечивают с возрастанием от нуля в центре осесимметричного электростатического поля до заданной величины ΔU (В) на его радиальной и осевой периферии. Предложено также устройство, состоящее из узла плавления металлических микрочастиц, узла зарядки и диспергирования жидких микрокапель и узел осаждения металлических наночастиц на подложку. Обеспечивается формирование наночастиц с узкой дисперсией размеров. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
Изобретение относится к способам защиты рабочих элементов литографического оборудования от потоков пылевых частиц, в которых запыление элементов оптики продуктами распыления мишени при ее облучении лазерным излучением является критическим. Способ включает зарядку пылевых металлических частиц и воздействие на заряженные пылевые металлические частицы электрическим полем, направленным вдоль поверхности защищаемого рабочего элемента литографического оборудования. Пылевые металлические частицы заряжают потоком электронов, при этом энергию электронов Еэл и произведение плотности потока электронов J0 на поперечный размер X потока электронов задают в определенном соотношении. Технический результат: повышение эффективности защиты литографического оборудования.
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОЧАСТИЦ // 2417831
Изобретение относится к устройствам получения частиц нанометрового размера, которые находят применение в различных отраслях науки и техники, в частности металлические наноструктуры рассматриваются в качестве перспективного материала для создания новых сенсорных, электронных и оптоэлектронных приборов, а также при разработке новых типов высокоселективных твердотельных катализаторов
Изобретение относится к способам и устройствам получения частиц нанометрового размера для создания сенсорных, электронных и оптоэлектронных приборов и высокоселективных твердотельных катализаторов
Изобретение относится к области электротехники, в частности к способу изготовления каталитического слоя топливного элемента, который включает диспергирование спиртового раствора платиновой черни путем подачи его через полую металлическую иглу-анод в электрическое поле между анодом и коаксиальным с ним кольцевым управляющим электродом, на которые подают разность потенциалов U, и нанесение образовавшейся струи капель раствора платиновой черни на поверхность носителя каталитического слоя, помещенного на подложку-катод, при разности потенциалов между кольцевым управляющим электродом и катодом U1
