Патенты автора Брагинский Олег Владимирович (RU)
Изобретение относится к области лазерной техники и может быть использовано, например, в физике низкотемпературной плазмы и биологии
Изобретение относится к измерениям радикалов при исследовании фотохимических и плазмохимических процессов в лазерных системах, а также при использовании плазмохимических реакторов в технологии изготовления полупроводниковых приборов в микро- и наноэлектронике
