Патенты автора Романов Роман Иванович (RU)
Изобретение относится к электроизмерительной технике, в частности к датчикам измерения состава окружающей среды при высоких температурах и может быть использовано для обнаружения утечек водорода и предотвращения создания взрывоопасной воздушно-водородной смеси при использовании в водородной энергетике. Способ создания сенсора для детектирования водорода включает размещение образца из 4H-SiC в вакуумной камере, создание вакуума с последующим нанесением пленки Ni методом импульсного лазерного осаждения с последующим отжигом образца в вакууме и охлаждением образца до комнатной температуры, поворот образца другой стороной и повторное создание вакуума, напуск рабочего газа до давления 25 Па и нагрев изделия с последующим нанесением основной пленки W18O49 методом импульсного лазерного осаждения, затем создают вакуум и наносят поверх пленки W18O49 каталитическую пленку, после чего охлаждают и извлекают образец, при этом после создания вакуума до остаточного давления 10-5 Па наносят слой Ni толщиной до 100 нм в течение времени до 10 мин, затем проводят отжиг образца при температурах 500-1000°С в течение времени не менее 30 мин с последующим охлаждением образца до комнатной температуры и поворотом образца другой стороной, после поворота образца и повторного создания вакуума поверхность образца нагревают до температуры 350-800°С и затем наносят дополнительный слой ВС3 толщиной 50-100 нм при давлении 10-5 Па методом импульсного лазерного осаждения путем лазерной абляции композитной мишени, состоящей из бора и углерода в отношении 1:3, далее напускают кислород до давления 25 Па и осаждают основную пленку W18O49 толщиной до 500 нм в течение времени до 60 мин, после чего создают вакуум и наносят каталитический слой Pd при давлении 10-5 Па толщиной до 50 нм в течение времени до 1,0 мин. Изобретение обеспечивает возможность создать сенсор, обладающий повышенной чувствительностью к водороду при температурах свыше 300°С и увеличенным сроком службы, за счет увеличения толщины чувствительной к водороду пленки и улучшения ее адгезионных свойств. 3 ил.
СПОСОБ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ // 2403646
Изобретение относится к области технологии нанесения защитных антифрикционных покрытий, в частности к способу получения антифрикционных тонких пленок и может быть использовано в вакуумной, авиационной и космической технике, микромеханике, изготовлении металлорежущего и металлообрабатывающего инструмента
