Патенты автора Баранов Дмитрий Аркадьевич (RU)
Изобретение относится к технике, используемой для нагревания полупроводниковой подложки при выращивании тонких эпитаксильных пленок методом молекулярно-пучковой эпитаксии
Изобретение относится к тиглям для испарения алюминия в процессе молекулярно-пучковой эпитаксии
