Патенты автора Индукаев Константин Васильевич (RU)
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ОБЪЕКТА // 2517962
Изобретение относится к области приборостроения и может быть применено для точной ориентации объекта в целях наблюдения или обработки, например, в микроскопах. Устройство для позиционирования объекта содержит средство угловой ориентации, состоящее из подвижной и неподвижной частей, и средство вертикальной подачи, связанное с подвижной частью средства угловой ориентации. Средство угловой ориентации обеспечивает угловую ориентацию объекта относительно двух пересекающихся взаимно перпендикулярных горизонтальных осей и может быть выполнено в виде сферического шарнира. Средство вертикальной подачи обеспечивает перемещение объекта относительно подвижной части средства угловой ориентации вдоль вертикальной оси и может быть выполнено в виде линейного электродвигателя или пъезоприводного исполнительного механизма. Обеспечивается нахождение исследуемого фрагмента поверхности в фокусе объектива при выполнении угловой ориентации объектов различной толщины. 7 з.п. ф-лы, 6 ил.
ИЗОБРАЖАЮЩИЙ МИКРОЭЛЛИПСОМЕТР // 2503922
Изображающий микроэллипсометр состоит из источника когерентного освещения 1, пространственного фильтра 2, управляемой полуволновой пластинки 3, коллиматора 4, неполяризующего светоделителя 5, по крайней мере, одной ловушки-поглотителя 6, микрообъектива 7 с фронтальной линзой 8, расположенного под микрообъективом предметного столика 9 с размещенным на нем объектом 10, интерференционного блока 11 формирования изображения. Отраженный от объекта 10 пучок отклоняется светоделителем 5 на вход интерференционного блока 11 формирования изображения. Технический результат - увеличение точности определения поляризационных параметров света, рассеянного объектом, и исключение влияния на точность определения геометрического рельефа поверхности. 8 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение может быть использовано для получения изображения микрорельефа объекта, имеющего большую площадь поверхности. Устройство включает платформу, на которой расположен объект и которая способна перемещаться на двух основных и одной дополнительной аэростатических опорах вдоль первой горизонтальной оси, и портал, на котором установлен фазовый микроскоп и который способен перемещаться на двух основных и одной дополнительной аэростатических опорах вдоль второй горизонтальной оси, перпендикулярной первой горизонтальной оси. Все аэростатические опоры подключены к общей пневматической системе, а микроскоп выполнен с возможностью получения интерферограмм через интервалы времени, равные периоду колебаний давления в общей пневматической системе. Технический результат - обеспечение высокой точности изображения микрорельефа поверхности объекта при взаимном перемещении микроскопа и объекта. 2 ил.
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ // 2491505
Изобретение относится к области диагностики поверхности твердого тела и может быть использовано для прецизионного контроля изделий в машиностроении и приборостроении
Изобретение относится к области интерференционной оптики и может быть использовано, например, в микроскопах
Изобретение относится к области точной механики, а именно к устройствам прецизионного перемещения, использующим смазку сжатым газом с компенсацией аэростатических сил за счет магнитного притяжения
МНОГОКООРДИНАТНАЯ МЕТРОЛОГИЧЕСКАЯ ПЛАТФОРМА // 2365953
Изобретение относится к областям техники, связанным с прецизионными координатными измерениями геометрии и локальных свойств материала нано- и микроструктур, протяженных в горизонтальном направлении, в частности интегральных микросхем, микроэлектромеханических систем и наномеханизмов
