Патенты автора БРЕНГ Уве (DE)
ЭЛЕМЕНТ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ // 2424972
Изобретение относится к микромеханическим, микроэлектромеханическим (МЭМС) и микрооптоэлектромеханическим (МОЭМС) элементам, а также способам их изготовления
Изобретение относится к микромеханическому, микроэлектромеханическому компоненту
