Патенты автора Хитров Олег Владимирович (RU)

Изобретение относится к оптике конденсированных сред и может быть использовано для определения оптических постоянных поверхности твердых тел, способных направлять поверхностные плазмон-поляритоны (ППП). Интерферометр содержит источник коллимированного р-поляризованного монохроматического излучения, элемент преобразования излучения в пучок ППП, твердотельный образец с плоской гранью, способной направлять ППП, делитель исходного пучка ППП в форме плоскопараллельной пластинки, наклоненной на 45° к плоскости падения излучения, примыкающей своим ребром к грани и ориентированной перпендикулярно к ней, неподвижное и подвижное плоские зеркала, примыкающие кромкой отражающей поверхности к грани, ориентированные перпендикулярно к ней, однопиксельное фотоприемное устройство, размещенное у участка ребра грани, освещаемого обоими вторичными пучками, и устройство обработки информации. Технический результат – повышение точности. 2 ил.

Изобретение относится к оптическим методам контроля проводящей поверхности в инфракрасном (ИК) излучении и может быть использовано в физико-химических исследованиях динамики роста переходного слоя поверхности, в технологических процессах для контроля толщины и однородности тонкослойных покрытий металлизированных изделий и полупроводниковых подложек, а также в сенсорных устройствах

Изобретение относится к оптическим методам исследования поверхности металлов и полупроводников

Изобретение относится к инфракрасной спектроскопии поверхностей металлов и полупроводников

Изобретение относится к оптическим методам исследования тонких слоев на поверхности металлов и полупроводников, а именно к инфракрасной (ИК) спектроскопии диэлектрической проницаемости

 


Наверх