FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора ОТА Ацуси (JP)
СОЛНЕЧНЫЙ ЭЛЕМЕНТ И СПОСОБ И АППАРАТ ДЛЯ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ
// 2456709
СПОСОБ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ И АППАРАТ ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
// 2378415
Изобретение относится к способу и аппарату магнетронного распыления и позволяет значительно уменьшить аномальный разряд на поверхности мишени и неразмытые области, вызывающие отложение материала мишени