Патенты автора ТАНИ Нориаки (JP)
Изобретение относится к технической области плоского устройства отображения, а именно к устройству отображения, использующему неорганический люминесцентный слой
Изобретение относится к способу и аппарату магнетронного распыления и позволяет значительно уменьшить аномальный разряд на поверхности мишени и неразмытые области, вызывающие отложение материала мишени
