Патенты автора Соловьев Андрей Александрович (RU)
Изобретение относится к области ионно-плазменной модификации поверхности материалов и представляет собой способ магнетронного напыления металлических или композитных (нитридных, оксидных) покрытий на движущуюся металлическую проволоку в обращенной цилиндрической магнетронной распылительной системе (МРС). Осуществляют предварительную плазменную очистку проволоки, распыление материала катода и осаждение его на подготовленную поверхность проволоки в газовой среде аргона. Предварительную плазменную очистку, распыление и осаждение покрытия проводят с использованием одного технологического источника в виде МРС при подаче на малогабаритный катод МРС одного из видов электропитания - асимметричного биполярного или униполярного импульсного с частотой следования импульсов до 100 кГц. Размер малогабаритного катода удовлетворяет условию: отношение диаметра катода к диаметру проволоки составляет 30-300. В частном случае осуществления изобретения напыление оксидных пленок проводят в упомянутой МРС в газовой среде, дополнительно содержащей кислород. Напыление нитридных пленок проводят в упомянутой МРС в газовой среде, дополнительно содержащей азот. Для напыления многослойных пленок дополнительно используют последовательно несколько упомянутых МРС с катодами из соответствующих материалов. Обеспечивается получение высокоадгезионных пленок с плотной структурой при малых безвозвратных потерях материала катода. 3 з.п. ф-лы, 5 ил., 2 пр.
Изобретение относится к области материаловедения, обработке поверхности металлов и может быть использовано в медицине для повышения износостойкости и антикоррозионных свойств изделий из стали, например, медицинских имплантатов. Способ получения износостойкого антикоррозионного покрытия на изделии из нержавеющей стали марки AISI 316L (03Х17Н14М3) включает создание на изделии поверхностного сплава на основе Ti в едином вакуумном цикле путем чередования операций напыления титановой пленки методом магнетронного распыления и последующего ее жидкофазного перемешивания с материалом изделия с помощью облучения низкоэнергетическим сильноточным электронным пучком (НСЭП) с длительностью импульса 2-3 мкс, количеством импульсов от 3 до 5 и с плотностью энергии электронов 2-3 Дж/см2. Затем на изделие наносят финишное кремний-углеродное (α-C:H:SiOx) покрытие. Обеспечивается покрытие, обладающее повышенной износостойкостью и коррозионной стойкостью, имеющее слой (α-C:H:SiOx), обладающий высокой биосовместимостью с биологической средой человека вследствие наличия кремния. 4 з.п. ф-лы, 2 табл.
Изобретение относится к области медицины, а именно к созданию тромборезистентных медицинских изделий, и раскрывает способ получения тромборезистентных изделий медицинского назначения, выполненных из титана и сплавов на его основе. Согласно изобретению, изделия подвергаются обработке импульсным низкоэнергетическим сильноточным широкоапертурным электронным пучком прямой полярности, изделие находится под потенциалом катода. После этого осуществляется нанесение пленки a-C:H:SiOx с предварительной очисткой поверхности изделий ионным потоком в аргоновой плазме, обеспечивающей удаление оксидных соединений с поверхности и нагрев поверхности до температуры 170±20°С. Нанесение a-C:H:SiOx пленки осуществляется в смеси аргона и полифенилметилсилоксана при давлении 0,1 Па. Способ позволяет снижать количество адгезированных тромбоцитов на поверхности изделий медицинского назначения, а также позволяет улучшать медико-биологических свойств изделий, проявляющееся в отсутствии цитотоксичности по отношению к клеткам крови. Нанесенная a-C:H:SiOx пленка также обеспечивает придание изделиям повышенной износостойкости, вследствие высокой твердости и низкого коэффициента трения. Способ может применяться в медицинской промышленности. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.
Изобретение относится к металлургии, а именно к способу модификации поверхности, а именно к электронно-пучковой обработке и нанесению тонких пленок, и может быть использовано в авиационной, машиностроительной и других областях промышленности, а также в медицине. Способ модификаций обработки поверхности изделий из титана заключается в том, что поверхности изделий оплавляют концентрированными потоками энергии с последующим осаждением плазмохимическим методом на нее кремний-углеродной пленки в смеси аргона и паров полифенилметилсилоксана с использованием импульсного биполярного смещения амплитудой отрицательного импульса от 100 В до 700 В, прикладываемого к оснастке с изделиями. Предварительное оплавление поверхности осуществляют импульсным широкоапертурным электронным пучком. В качестве исходного материала для получения кремний-углеродной пленки используют полифенилметилсилоксан. Обеспечивается повышение механических и трибологических свойств изделий из титана, обладающих биосовместимостью и сочетающих в себе высокую твердость, низкий коэффициент трения и низкую скорость износа. 2 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 табл, 2 пр.
Способ обработки электродов изолирующих промежутков высоковольтных электровакуумных приборов // 2665315
Изобретение относится к технике высоких напряжений, в частности к технике электрической изоляции в вакууме, и может использоваться в высоковольтных энергоустановках и электровакуумных приборах для повышения эксплуатационных характеристик. Способ обработки электродов заключается в том, что рабочие поверхности электродов изолирующих промежутков оплавляют концентрированными потоками плазмы с последующим осаждением на поверхность электродов кремний-углеродной пленки с низкой шероховатостью поверхности и низкой эмиссионной активностью толщиной 2,5-3 мкм в плазме несамостоятельного дугового разряда с накаленным катодом с использованием кремнийорганического прекурсора - ПФМС. Технический результат - повышение электрической прочности вакуумной изоляции электродных промежутков, достигаемое осаждением диэлектрической кремний-углеродной пленки. 3 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл.
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЯЧЕЙКИ ТВЕРДООКСИДНОГО ТОПЛИВНОГО ЭЛЕМЕНТА НА НЕСУЩЕЙ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ОСНОВЕ // 2571824
Изобретение относится к изготовлению твердооксидных топливных ячеек (ТОТЭ) на металлической основе, в которых обеспечено увеличение долговременной стабильности каталитических свойств анода и снижение рабочей температуры ниже 800°C. Технический результат достигается за счет использования в качестве материала металлической основы Ni-Al сплава, получаемого с использованием энергоэффективного метода самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС), исключает необходимость нанесения дополнительных защитных покрытий между металлической основой и электродными слоями для предотвращения реакций взаимной диффузии материалов, поскольку металлическая основа не содержит в своем составе Fe или Cr, в отличие от ферритных нержавеющих сталей. Формирование каждого функционального слоя ячейки осуществляется в одну технологическую стадию. Формирование тонкопленочного, менее 20 мкм, электролита методом магнетронного распыления позволяет снизить рабочую температуру ниже 800°С. 4 ил., 1 пр.
Изобретение относится к области получения тонкопленочных покрытий, в частности к вакуумному нанесению прозрачных проводящих покрытий методом магнетронного распыления
Изобретение относится к области водородной энергетики и представляет собой способ изготовления твердооксидных топливных элементов
Изобретение относится к области нанесения покрытий, в частности к малогабаритному магнетронному распылительному устройству обращенного типа, и может найти использование для нанесения тонких пленок металлов и их соединений в вакууме на тонкие проволоки и волокна
