Патенты автора Анисимкин Владимир Иванович (RU)

Изобретение относится к средствам для формирования последовательности видеоимпульсов с использованием акустической линии задержки. Технический результат заключается в расширении функциональных возможностей за счет обеспечения возможности формирования разнополярных видеоимпульсов с заданной временной задержкой. Выполняют прямое преобразование входного электрического импульса в акустические импульсы и обратно в электрические импульсы посредством многоканальной акустической линии задержки, которая образована парами излучающих и приемных пьезоэлектрических преобразователей, объединенных звукопроводами. В качестве входного электрического импульса используют однополярный прямоугольный видеоимпульс, при этом предварительно определяют знаки полярности поляризации пьезоэлектрических преобразователей каждой пары каналов из условия излучения/приема разнополярных передних фронтов акустических волн в звукопроводе. Искомую последовательность электрических импульсов формируют путем сложения разнополярных электрических сигналов, полученных на приемных пьезоэлектрических преобразователях. Полярность и временную задержку задают временем распространения акустических импульсов в звукопроводах. 7 з.п. ф-лы, 13 ил.

Использование: для анализа жидких сред, в том числе биологических жидкостей. Сущность изобретения заключается в том, что анализатор содержит пьезоэлектрическую пластину, в центральной части которой расположен излучающий ВШП. По обе стороны пластины по направлению излучения с зазором размещены приемные ВШП, образующие акустические каналы для проб анализируемой жидкой и эталонной жидкостей. Пьезоэлектрическая пластина имеет толщину порядка длины акустической волны и обеспечивает возбуждение пластинчатых мод колебаний ПМК нескольких порядков с разной частотой и разным направлением потоков энергии. Приемные ВШП размещены парами на равных расстояниях относительно геометрического центра излучающего ВШП и под углами, выбранными из условия приема потоков энергии ПМК на дискретных частотах возбуждения излучающего ВШП. Штыри приемных ВШП параллельны штырям излучающего ВШП. Расстояния, на которых размещены приемные ВШП в каждом канале относительно геометрического центра излучающего ВШП для каждой пары, одинаковы. Акустические каналы для проб содержат две кюветы - одну для анализируемой, другую - для эталонной жидких сред - с открытым горлом одинакового размера и формы в виде секторов, симметричных относительно плоскости, проходящей через геометрический центр излучающего ВШП. Дном кювет служит пьезоэлектрическая пластина. Технический результат: повышение точности анализа микропроб жидких. 5 з.п. ф-лы, 6 ил.

Способ определения параметров плазменного травления материалов в процессе обработки изделий включает измерение параметров модельного образца в виде структуры, образованной первой и второй акустическими линиями задержки (АЛЗ), содержащими входные и выходные электроакустические преобразователи, выполненные на одной грани плоского кристаллического звукопровода, другая противолежащая грань которого открыта для плазменного травления. Моды колебаний АЛЗ выбраны из условия обеспечения различий в зависимости времени задержки от температуры и толщины звукопровода таким образом, чтобы первая АЛЗ обладала большей чувствительностью к температуре и меньшей чувствительностью к изменению толщины звукопровода в процессе травления, а вторая АЛЗ - меньшей чувствительностью к температуре, но большей чувствительностью к изменению толщины звукопровода в процессе травления по отношению к первой АЛЗ. Искомые параметры упомянутого травления определяют по временной зависимости разности откликов выходных преобразователей при подаче сигнала возбуждения на входные преобразователи АЛЗ. Технический результат - снижение уровня пороговых значений и повышение точности измерения параметров плазменного травления с автоматическим учетом текущей температуры процесса. 7 з.п. ф-лы, 6 ил.

Использование: для физико-химического анализа жидких и газообразных сред с использованием акустических волн. Сущность изобретения заключается в том, что акустический сенсор системы электронный нос и электронный язык содержит плоскопараллельную пластину из пьезоэлектрического кристалла с кристаллографической осью, лежащей в плоскости пластины, имеющей лицевую и тыльную стороны; электроакустические встречно-штыревые преобразователи (ВШП), размещенные парами и образующие две совокупности акустических каналов для поверхностных акустических волн (ПАВ) с длиной волны, много меньшей толщины пластины, и семейства пластинчатых мод колебаний (ПМК) с длиной волны, меньшей или равной толщине пластины; локальную зону для внесения анализируемой жидкости, размещенную на пластине, при этом в акустических каналах для ПАВ размещены пленки веществ, чувствительных к составу газовой пробы, имеющие форму полосок, длина которых совпадает с направлением распространения ПАВ, а ширина составляет не менее ширины ВШП, локальная зона для внесения анализируемой жидкости образована на лицевой поверхности пластины, ограничена по меньшей мере одной цилиндрической кюветой для жидкости с открытым горлом, дном которой является упомянутая пластина, при этом ВШП для возбуждения ПМК размещены по периферии вокруг цилиндрической кюветы, а акустические каналы для ПАВ размещены вне зоны размещения кюветы. Технический результат: обеспечение возможности повышения информативности и чувствительности акустического сенсора. 10 з.п. ф-лы, 12 ил.

Изобретение относится к метрологии, в частности к акустическим датчикам. Чувствительный элемент для акустического жидкостного сенсора содержит плоскую пластину из монокристаллического кремния, пьезоэлектрический материал, нанесенный на поверхность пластины и связанный с системой встречно-штыревых преобразователей для возбуждения и приема акустических пластинчатых мод колебаний, локальную ванну для жидкого аналита. Пьезоэлектрический материал нанесен на обе поверхности пластины, выполнен в виде пленок окиси цинка, имеющих разную толщину, пленка большей толщины h1 сообщена с системой встречно-штыревых преобразователей, а пленка меньшей толщины h2 образует дно локальной ванны. Толщина Н пластины много больше толщин h1, h2. Плоскость пластины совпадает с кристаллографической плоскостью (001), а направление распространения акустических пластинчатых мод - с направлением <100> монокристаллического кремния. Акустические пластинчатые моды колебаний представляют собой слабодисперсионные квазипродольные моды с фазовой скоростью, близкой к фазовой скорости объемной продольной волны в кристаллографическом направлении <100> монокристаллического кремния, и удовлетворяют приведенным условиям. Технический результат - повышение эффективности электромеханического преобразования, уменьшение вертикальной компоненты упругого смещения в локальной ванне. 2 з.п. ф-лы, 7 ил.

Использование: для создания сенсора изменения состава атмосферы в замкнутых объемах. Сущность изобретения заключается в том, что газовый сенсор содержит температуропроводную подложку из кристаллического материала с плоскопараллельными поверхностями, на рабочей поверхности которой размещен пленочный нагреватель из электропроводящего материала, а на нерабочей - измеритель температуры на основе акустической линии задержки, электромеханические пьезоэлектрические преобразователи встречно-штыревого типа которой подключены к генератору и регистратору выходного сигнала, блок управления нагревателем, пленочный нагреватель выполнен в виде набора обособленных протяженных элементов из газочувствительных материалов, выбранных из условия изменения их электросопротивления при адсорбции различных по составу газов, элементы подключены к индивидуальным выходам блока управления нагревателями, при этом каждый упомянутый элемент ограничен по длинным сторонам канавками, заполненными термо- и звукоизолирующим материалом, измеритель температуры на основе акустической линии задержки выполнен многоканальным по числу протяженных элементов, каждый канал размещен по направлению распространения энергетических потоков поверхностных акустических волн и/или пластинчатых упругих мод разных порядков n в подложке, при этом излучение и прием указанных волн и/или мод производится индивидуальными системами генерации-приема на частотах fn, определяемых выражением fn=Vn/λ, где Vn - скорость поверхностных акустических волн или пластинчатых упругих мод, λ - период встречно-штыревых преобразователей, а протяженные элементы размещены вдоль проекций на рабочую поверхность подложки указанных направлений распространения энергетических потоков.. Технический результат: обеспечение возможности увеличения общего числа газов при повышенной точности измерений и сниженном пороге срабатывания. 9 з.п. ф-лы, 8 ил., 1 табл.

 


Наверх