Патенты автора Морозов Георгий Сергеевич (RU)

Предложен способ формирования нанослоя аморфного кремния заданной толщины при гидрофобизации субстрата, в котором осуществляют расчет массы кремния, необходимой для формирования нанослоя аморфного кремния с заданной толщиной, осуществляют расчет объема гидрида кремния, необходимого для формирования нанослоя аморфного кремния с заданной толщиной, и осуществляют подачу вычисленного объема гидрида кремния в устройство формирования нанослоя аморфного кремния и преобразуют гидрид кремния в аморфный кремний с формированием при температуре от 300°С до 600°С нанослоя аморфного кремния заданной толщины на по меньшей мере одной поверхности субстрата, причем расчет объема гидрида кремния осуществляют на основе температуры и давления в устройстве формирования нанослоя аморфного кремния и/или субстрате в момент подачи гидрида кремния и/или смеси гидрида кремния с инертным газом в устройство формирования нанослоя аморфного кремния и вычисленной массы кремния. 5 з.п. ф-лы. 1 ил.
Настоящее изобретение относится к способу гидрофобизации поверхности субстратов и может быть использовано в газоносных системах отбора и хранения проб природного газа для подготовки субстрата, например сосуда для хранения газа и подводящего трубопровода, в системах контроля качества продукции в нефтяной и газовой промышленности, в химико-аналитических лабораториях, при производстве аналитических приборов и хроматографов, в коммерческих узлах учета, в системах измерений количества и показателей качества газа и сжиженных углеводородных газов на магистральных газопроводах. Способ нанесения покрытия аморфного кремния на субстрат включает а) подготовку по меньшей мере одной поверхности субстрата, при которой по меньшей мере одну поверхность субстрата очищают органическим растворителем при температуре от 25°С до 35°С, указанную по меньшей мере одну поверхность субстрата обрабатывают раствором минеральной кислоты при температуре от 20°С до 30°С, проводят сушку указанной по меньшей мере одной поверхности субстрата в атмосфере инертного газа при температуре от 200°С до 300°С, б) осаждение аморфного кремния на по меньшей мере одной поверхности субстрата, включающее подачу прекурсора кремния в атмосфере инертного газа и разложение прекурсора кремния при температуре от 600°С до 1000°С в течение от 3 до 240 минут с получением слоя аморфного кремния на указанной по меньшей мере одной поверхности субстрата. Обеспечивается получение более равномерного покрытия с высоким значением краевого угла смачивания, повышенной прочностью и надежностью к механическому воздействию, что повышает общую эффективность процесса гидрофобизации. 17 з.п. ф-лы, 3 пр.
Настоящее изобретение относится к способу получения покрытия из аморфного кремния на внутренней поверхности металлического субстрата и может быть использовано в газоносных системах отбора и хранения проб природного газа для подготовки субстрата, например сосуда для хранения газа или подводящего трубопровода, в системах контроля качества продукции в нефтяной и газовой промышленности, в коммерческих узлах учета, в системах измерений количества и показателей качества газа и сжиженных углеводородных газов на магистральных газопроводах. Проводят очистку внутренней поверхности субстрата органическим растворителем и активирование ее раствором минеральной кислоты или щелочи, подачу в субстрат прекурсора кремния в виде гидрида кремния в количестве от 5 об.% до 30 об.% при смешивании с инертным газом в виде аргона, гелия, их смесей или азота и разложение гидрида кремния при температуре от 600°С до 1000°С в течение от 3 до 240 минут. В частных случаях осуществления изобретения подачу прекурсора кремния в субстрат повторяют до достижения требуемой толщины покрытия с промежуточной продувкой субстрата инертным газом. Смесь газов, получаемую после проведения реакции разложения, используют повторно в качестве газа-носителя. Обеспечивается повышение качества покрытия внутренней поверхности металлического субстрата при снижении затрат. 2 з.п. ф-лы, 1 пр.

Изобретение относится к области оптического приборостроения и может найти применение в оптико-электронных приборах

 


Наверх